激光干涉測(cè)量技術(shù)作為超精密測(cè)量的重要手段,為實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)測(cè)量分辨力,通常對(duì)干涉周期信號(hào)進(jìn)行數(shù)百倍甚至上千倍的插值細(xì)分,引入分辨力有效性問題。本文基于渦旋光束的螺旋相位特性,搭建高精度共軛渦旋光干涉位移測(cè)量結(jié)構(gòu),將被測(cè)直線位移量與干涉圖案繞中心旋轉(zhuǎn)角度建立線性傳感關(guān)系。信號(hào)采集與處理中基于干涉信號(hào)特點(diǎn),結(jié)合高速光電探測(cè)器進(jìn)行干涉圖案周期計(jì)數(shù)與相機(jī)進(jìn)行低速干涉圖案圖像細(xì)分,對(duì)干涉圖案自身進(jìn)行空間等角度細(xì)分,有效降低后繼周期信號(hào)的細(xì)分倍數(shù)并提高測(cè)量分辨力可靠性,以保證渦旋光干涉信號(hào)實(shí)時(shí)處理系統(tǒng)的亞納米量級(jí)測(cè)量精度。搭建渦旋光束拓?fù)浜蓴?shù)為4的干涉測(cè)量實(shí)驗(yàn)測(cè)試系統(tǒng),理論上干涉圖案旋轉(zhuǎn)1°對(duì)應(yīng)的被測(cè)位移量為0.88 nm,設(shè)計(jì)基于LabVIEW的信號(hào)實(shí)時(shí)采集和處理系統(tǒng)并進(jìn)行測(cè)量分辨力測(cè)試與誤差分析,在實(shí)驗(yàn)室條件下分辨力優(yōu)于0.5 nm。

【文章頁(yè)數(shù)】：8 頁(yè)

【文章目錄】：
1 引 言
2 渦旋光束干涉測(cè)量系統(tǒng)
    2.1 渦旋光束干涉位移測(cè)量原理
    2.2 干涉圖案信號(hào)讀取
    2.3 干涉圖案細(xì)分
    2.4 干涉圖案的穩(wěn)定性
3 實(shí)驗(yàn)測(cè)試與分析
    3.1 實(shí)驗(yàn)測(cè)試系統(tǒng)
    3.2 測(cè)試誤差分析
4 結(jié) 論



本文編號(hào)：3867550