波長調(diào)諧移相干涉技術(shù)是通過改變光波長來計算相位的。為了減少可調(diào)諧激光器在變波長進行移相時光功率的隨機變化對相位計算產(chǎn)生的誤差,本文提出了一套光強實時反饋控制系統(tǒng)和同步校準(zhǔn)方案。首先分析了光強在某一范圍內(nèi)的隨機變化產(chǎn)生測量誤差,并選用合適的光電檢測設(shè)備搭建了一套光強控制系統(tǒng)。該系統(tǒng)能夠?qū)⒐庑盘栟D(zhuǎn)化為電信號,并通過PID來實現(xiàn)對光強的控制。實驗結(jié)果表明,本系統(tǒng)能夠?qū)⒐鈴姷淖兓秶刂圃凇?.002mW以內(nèi),其響應(yīng)速度達到600kHz,已遠遠超過干涉儀CCD的取圖速度。最后,對口徑為50mm的光學(xué)元件進行表面形貌檢測,加入本控制系統(tǒng)后,面形精度的測量指標(biāo)PV值和RMS值分別提高了1.53×10^-2λ和2.43×10^-3λ,表明本系統(tǒng)在高精度的光學(xué)元件檢測領(lǐng)域具有重要的實用價值。

【文章頁數(shù)】：7 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 光強變化產(chǎn)生的誤差及仿真分析
    2.1 光強變化引起的相位誤差
    2.2 誤差仿真及分析
3 系統(tǒng)設(shè)計及分析
4 實驗結(jié)果
5 結(jié)論



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