針對大尺度超振蕩平面透鏡(SOL)的實(shí)際應(yīng)用,基于嚴(yán)格的矢量角譜理論定量研究了多種典型制造誤差對大尺度SOL聚焦性能的影響規(guī)律。理論計(jì)算結(jié)果表明:橫向環(huán)帶制造誤差對振幅型SOL(金屬膜)和相位型SOL(介質(zhì)層)聚焦性能的影響規(guī)律基本一致,環(huán)帶中心位置偏差主要影響SOL的聚焦焦距,環(huán)帶寬度偏差主要影響SOL的聚焦光斑分布;±150 nm范圍內(nèi)的位置偏差和寬度偏差是大尺度SOL各環(huán)帶的最大制造允許公差;對于相位型SOL,縱向刻蝕深度偏差主要影響聚焦光斑的強(qiáng)度,π相位差對應(yīng)的聚焦光斑強(qiáng)度最大;為使相位型SOL聚焦光斑保持較高強(qiáng)度,應(yīng)使介質(zhì)層刻蝕深度對應(yīng)的相位調(diào)制量保持在(0.8～1.2)π的范圍內(nèi)。

【文章頁數(shù)】：10 頁

【文章目錄】：
1 引 言
2 SOL的理論設(shè)計(jì)
3 SOL制造誤差
4 橫向制造誤差對SOL聚焦性能的影響
5 縱向制造誤差對相位型SOL聚焦性能的影響
6 結(jié) 論



本文編號：3750201