�。颊痉乔蛎婀鈱W(xué)元件表面形貌的干涉量測(cè)因須透過電腦全像片、零透鏡等補(bǔ)償元件提供與待測(cè)元件相匹配之理想非球面波前,故需嚴(yán)謹(jǐn)與復(fù)雜的程序進(jìn)行量測(cè)系統(tǒng)即包含干涉儀內(nèi)部光路系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)誤差、參考球面鏡頭與補(bǔ)償元件等誤差的校正。然而,量測(cè)結(jié)果亦包含鏡片之夾持變形、承受重力之自重變形與量測(cè)環(huán)境的震動(dòng)與氣流擾動(dòng)等資訊,此類誤差源對(duì)中大口徑、量測(cè)光程長(zhǎng)的光學(xué)元件之面形檢測(cè)影響甚重。 

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本文編號(hào)：3707005