在使用激光干涉儀時,光路校準(zhǔn)過程比較困難,需反復(fù)調(diào)整,耗時極長,嚴(yán)重依賴操作者的技術(shù)水平及經(jīng)驗,導(dǎo)致檢測效率大大降低。通過對雷尼紹XL-80激光干涉儀檢測的機(jī)床直線軸Y軸的光路進(jìn)行分析,建立被測軸的齊次坐標(biāo)變換誤差模型,利用機(jī)床Y軸移動距離,再借助隨著光點(diǎn)從光靶中心移動到光靶邊緣的固定距離,求解與被測軸Y軸位置無關(guān)的激光發(fā)射器偏擺和俯仰角,以及間接得到激光器和反射鏡位置偏移誤差和光點(diǎn)在坐標(biāo)系間變換的距離。通過建立的誤差模型求解無法直接測量的分光鏡與反射鏡繞各自本身垂直底座軸線的偏擺誤差,調(diào)整各部件,快速準(zhǔn)確地完成光路校準(zhǔn)。 

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
0 前言
1 激光干涉儀檢測系統(tǒng)
    1.1 檢測設(shè)備
    1.2 激光干涉儀的工作原理
2 光路的誤差模型
    (1)以激光器發(fā)射點(diǎn)為坐標(biāo)中心,以激光頭的理想矩陣為單位陣:
    (2)當(dāng)激光頭發(fā)射的光束到達(dá)分光鏡坐標(biāo)系O1-X1Y1Z1的理想矩陣為
    (3)當(dāng)激光頭發(fā)射的光束透過分光鏡到達(dá)反射鏡的坐標(biāo)系O2-X2Y2Z2理想矩陣為
    (4)分光鏡處光點(diǎn)的坐標(biāo)為
    (5)反射鏡處光點(diǎn)的坐標(biāo)為
3 實驗
4 調(diào)整方案
    (1)將偏上光路調(diào)回中心
    (2)將偏右光路調(diào)回中心
5 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號：3700359