針對(duì)傳統(tǒng)色散透鏡的色散線性度很難保證為絕對(duì)線性,測(cè)量范圍很窄的問題,且為了盡量減小球差尤其是對(duì)測(cè)量影響最大的軸向球差,提出一種將二元光學(xué)透鏡引入到光譜共聚焦微小間距測(cè)量的方法。該方法中二元光學(xué)透鏡的色散只與入射光的波長(zhǎng)有關(guān),且嚴(yán)格與入射光的波長(zhǎng)成反比。二元光學(xué)透鏡不存在球差問題且可以補(bǔ)償校正測(cè)量系統(tǒng)中其他光學(xué)組件的未知色差。實(shí)驗(yàn)中選擇510～690nm范圍內(nèi)的光譜,利用分辨率為0.5nm的光譜儀接收光譜信息,測(cè)得該方法的測(cè)量量程為13.95mm,測(cè)量誤差為0.6μm,并通過對(duì)光盤上的刻錄間距進(jìn)行測(cè)量,驗(yàn)證了該方法的有效性。 

【文章頁數(shù)】：7 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 基本原理與測(cè)量裝置
    2.1 二元光學(xué)透鏡光譜聚焦微小間距測(cè)量理論分析
    2.2 微小間距測(cè)量原理與實(shí)驗(yàn)裝置
3 仿真分析
4 實(shí)驗(yàn)分析
5 應(yīng)用及前景分析
6 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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碩士論文
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本文編號(hào)：3671195