為實(shí)現(xiàn)激光棒透射波前的測(cè)量,改善一般泰曼型或斐索型干涉儀測(cè)量小口徑激光棒透射波前時(shí)的邊緣衍射效應(yīng),研究了一種變傾角移相馬赫-曾德?tīng)柛缮鎯x。通過(guò)調(diào)整移相反射鏡的傾斜姿態(tài),改變?nèi)肷涞今R赫-曾德?tīng)柛缮婀饴返墓馐鴥A角,參考光束與測(cè)試光束的光程差隨之變化,從而在相干光之間引入相移,實(shí)現(xiàn)了相移干涉測(cè)量。利用該干涉儀測(cè)量一根口徑為Ф6 mm、長(zhǎng)度為60 mm激光棒（Nd:YAG）的透射波前,測(cè)量結(jié)果的峰谷值（PV）為0.391λ,均方根值（RMS）為0.056λ;使用ZYGO激光干涉儀測(cè)量同一根激光棒,其透射波前的峰谷值（PV）為0.370λ,均方根值（RMS）為0.064λ。對(duì)比結(jié)果表明該干涉儀能實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件透射波前的高精度檢測(cè),測(cè)試結(jié)果的一致性驗(yàn)證了該方案的可行性。該變傾角移相方法具有較高的移相精度和較大的移相范圍,且該變傾角干涉系統(tǒng)中光束僅一次透過(guò)待測(cè)激光棒,可有效抑制多光束干涉現(xiàn)象,改善小口徑激光棒的邊緣衍射效應(yīng)。 

【文章頁(yè)數(shù)】：8 頁(yè)

【文章目錄】：
1 引言
2 理論推導(dǎo)
    2.1 變傾角移相原理
    2.2 隨機(jī)移相算法
3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果
4 討論分析
    4.1 系統(tǒng)移相量的分析
    4.2 可測(cè)量激光棒的長(zhǎng)度范圍
    4.3 馬赫-曾德?tīng)柛缮鎯x測(cè)量激光棒的優(yōu)勢(shì)
5 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]變傾角移相斜入射動(dòng)態(tài)干涉儀[J]. 劉致遠(yuǎn),陳磊,朱文華,丁煜,馬云,鄭東暉.  光電工程. 2019(08)
[2]電調(diào)諧波長(zhǎng)移相干涉術(shù)[J]. 丁煜,陳磊,王志華,朱文華,劉致遠(yuǎn).  紅外與激光工程. 2018(05)
[3]大口徑光學(xué)元件瞬態(tài)波前檢測(cè)[J]. 孟詩(shī),陳磊,朱文華,孫沁園,張瑞.  光電工程. 2018(01)
[4]數(shù)字干涉儀移相器PZT位移測(cè)量與標(biāo)定[J]. 王圣文,于瀛潔,付燁.  計(jì)量與測(cè)試技術(shù). 2017(10)
[5]壓電陶瓷裝置微位移的光學(xué)測(cè)量與控制技術(shù)[J]. 高志山,王若言,成曉強(qiáng).  電光與控制. 2016(08)
[6]二維快速傅里葉變換干涉圖相位提取誤差分析[J]. 張敏,唐鋒,王向朝,戴鳳釗.  中國(guó)激光. 2013(03)
[7]激光棒波前畸變測(cè)試儀[J]. 何勇,陳進(jìn)榜,朱日宏,高志山.  中國(guó)激光. 2003(10)
[8]激光棒干涉測(cè)試中的若干問(wèn)題[J]. 陳進(jìn)榜,張培河.  激光與紅外. 1986(10)



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