光學透鏡的面形精度是影響干涉儀等光學系統(tǒng)性能的重要因素之一。其中光學透鏡的自重是引起透鏡的面形發(fā)生變化的主要原因。為了提高由光學透鏡的面形精度,設計了一種具有輔助剛體的光學透鏡半柔性支撐結構。通過Abaqus有限元分析軟件,模擬出在半柔性支撐結構下光學透鏡自重對其自身面形的影響。分析的最終結果表明:光學透鏡的上表面與下表面的面形RMS值分別為3.51 nm和4.64 nm。由此可以得出,設計的具有輔助剛體的光學透鏡半柔性支撐結構可以充分滿足干涉儀等光學系統(tǒng)對光學透鏡面形的精度要求。 

【文章來源】：軟件. 2020,41(08)

【文章頁數(shù)】：3 頁

【部分圖文】：

透鏡的應力云圖

柔性結構采用多彈片式結構，彈片模型可簡化為懸臂梁結構進行設計分析；徑向采用三點撓性間隙結構（三個彈片與外結構體采用焊接）來定心并防止發(fā)生較大水平方向位移，實際操作上主要水平微調(diào)還是靠后期進行。在不考慮柔性結構（多彈片支撐結構）與徑向定位裝置之間的裝配夾緊力對柔性結構的變形情況下，對于支撐結構做了簡化，配合簡化的三點輔助剛體支撐結構組合成的半柔性支撐結構，如圖2所示。

在不考慮柔性結構（多彈片支撐結構）與徑向定位裝置之間的裝配夾緊力對柔性結構的變形情況下，對于支撐結構做了簡化，配合簡化的三點輔助剛體支撐結構組合成的半柔性支撐結構，如圖2所示。1.1.1柔性結構，徑向定位結構與輔助剛體材料選擇

【參考文獻】：
期刊論文
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