光學(xué)透鏡的面形精度是影響干涉儀等光學(xué)系統(tǒng)性能的重要因素之一。其中光學(xué)透鏡的自重是引起透鏡的面形發(fā)生變化的主要原因。為了提高由光學(xué)透鏡的面形精度,設(shè)計(jì)了一種具有輔助剛體的光學(xué)透鏡半柔性支撐結(jié)構(gòu)。通過Abaqus有限元分析軟件,模擬出在半柔性支撐結(jié)構(gòu)下光學(xué)透鏡自重對(duì)其自身面形的影響。分析的最終結(jié)果表明:光學(xué)透鏡的上表面與下表面的面形RMS值分別為3.51 nm和4.64 nm。由此可以得出,設(shè)計(jì)的具有輔助剛體的光學(xué)透鏡半柔性支撐結(jié)構(gòu)可以充分滿足干涉儀等光學(xué)系統(tǒng)對(duì)光學(xué)透鏡面形的精度要求。 

【文章來源】：軟件. 2020,41(08)

【文章頁數(shù)】：3 頁

【部分圖文】：

透鏡的應(yīng)力云圖

柔性結(jié)構(gòu)采用多彈片式結(jié)構(gòu)，彈片模型可簡(jiǎn)化為懸臂梁結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì)分析；徑向采用三點(diǎn)撓性間隙結(jié)構(gòu)（三個(gè)彈片與外結(jié)構(gòu)體采用焊接）來定心并防止發(fā)生較大水平方向位移，實(shí)際操作上主要水平微調(diào)還是靠后期進(jìn)行。在不考慮柔性結(jié)構(gòu)（多彈片支撐結(jié)構(gòu)）與徑向定位裝置之間的裝配夾緊力對(duì)柔性結(jié)構(gòu)的變形情況下，對(duì)于支撐結(jié)構(gòu)做了簡(jiǎn)化，配合簡(jiǎn)化的三點(diǎn)輔助剛體支撐結(jié)構(gòu)組合成的半柔性支撐結(jié)構(gòu)，如圖2所示。

在不考慮柔性結(jié)構(gòu)（多彈片支撐結(jié)構(gòu)）與徑向定位裝置之間的裝配夾緊力對(duì)柔性結(jié)構(gòu)的變形情況下，對(duì)于支撐結(jié)構(gòu)做了簡(jiǎn)化，配合簡(jiǎn)化的三點(diǎn)輔助剛體支撐結(jié)構(gòu)組合成的半柔性支撐結(jié)構(gòu)，如圖2所示。1.1.1柔性結(jié)構(gòu)，徑向定位結(jié)構(gòu)與輔助剛體材料選擇

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于RecurDyn的城軌微動(dòng)塞拉門系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)仿真[J]. 陳健飛,王云霞,貢智兵,王祖進(jìn),施晶晶.  軟件. 2018(12)
[2]熱激勵(lì)參數(shù)對(duì)管道缺陷區(qū)域熱生成率影響的有限元分析[J]. 張懿,張?jiān)苽?樊陽陽,茍爽.  軟件. 2018(05)
[3]顱腦動(dòng)脈瘤模型構(gòu)建與計(jì)算流體力學(xué)分析[J]. 王佳美,周志尊,胡明成,劉陽,董默,孫強(qiáng),孫鵬,劉芳,趙寶,陳廣新.  軟件. 2018(05)
[4]三維云圖仿真系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[J]. 王連杰,韋群.  軟件. 2018(05)
[5]高精度光學(xué)平板在三點(diǎn)支撐下自重變形的研究[J]. 武東城,高松濤,吳志會(huì),彭石軍,曲藝,蘇東奇,苗二龍.  光學(xué)學(xué)報(bào). 2015(12)
[6]基于NS3的分布式消息系統(tǒng)Kafka的仿真實(shí)現(xiàn)[J]. 馬浩然.  軟件. 2015(01)
[7]單鏡支撐結(jié)構(gòu)對(duì)鏡面面形影響的接觸有限元分析[J]. 劉悅,任田田,賈振超.  機(jī)械設(shè)計(jì)與制造. 2014(10)
[8]光刻物鏡高精度撓性結(jié)構(gòu)鏡框設(shè)計(jì)及分析[J]. 華洋洋,鞏巖.  光電工程. 2013(07)
[9]光刻投影物鏡中柔性多彈片支撐方式的性能分析[J]. 彭海峰,鞏巖,趙磊.  光電工程. 2013(02)
[10]半柔性懸掛結(jié)構(gòu)分析的子結(jié)構(gòu)模態(tài)法[J]. 王春林,呂志濤.  工程力學(xué). 2008(02)



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