大口徑平面光學(xué)元件廣泛的應(yīng)用于航空航天、天文探索、高功率激光系統(tǒng)等重大國(guó)家工程中,因此,對(duì)于大平面光學(xué)平面元件面形檢測(cè)的研究顯得尤為必要和重要。常用干涉方法對(duì)平面面形進(jìn)行檢測(cè),菲索干涉儀作為典型的平面面形干涉檢測(cè)儀器,其檢測(cè)精度很大程度上取決于光學(xué)參考平面的面形精度。光學(xué)平面口徑增大致使其自身重力的增加,會(huì)使得參考平面發(fā)生重力變形,從而對(duì)待測(cè)平面元件檢測(cè)結(jié)果產(chǎn)生很大的誤差。所以大口徑參考平面的高精度面形的標(biāo)定成為檢測(cè)過(guò)程中必不可少的一環(huán),也是保證大口徑光學(xué)系統(tǒng)檢測(cè)水平提升的必然途徑。本文在傳統(tǒng)的三平面互檢面形標(biāo)定方法的基礎(chǔ)上,采用Zemike多項(xiàng)式擬合的三平面互檢面形標(biāo)定方法,并結(jié)合相移干涉技術(shù)的理論分析和仿真,分析得到相移過(guò)程中干涉條紋處理的計(jì)算誤差達(dá)到2mm。同時(shí),針對(duì)300mm 口徑的參考平面在不同的裝夾支撐方式、參考面厚度、平面口徑等參數(shù)條件下的自重變形,運(yùn)用有限元分析方法進(jìn)行分析仿真。所以選取T型六點(diǎn)支撐方式作為大口徑參考平面的裝夾支撐方式,該支撐方式下參考面的重力變形仿真達(dá)到20nm。隨后,分析了參考面的變形對(duì)Zernike多項(xiàng)式擬合的三面互檢面形標(biāo)定結(jié)果的影響,得到變形后... 

【文章來(lái)源】：西安工業(yè)大學(xué)陜西省

【文章頁(yè)數(shù)】：73 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

多點(diǎn)浮動(dòng)支撐

底部環(huán)狀支撐

側(cè)面膠點(diǎn)支撐

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于重力補(bǔ)償?shù)牧⑹饺桨褰^對(duì)檢測(cè)（英文）[J]. 蘇東奇,田偉,苗二龍,隋永新,楊懷江.  光子學(xué)報(bào). 2015(11)
[2]Φ300mm平面標(biāo)準(zhǔn)鏡高精度支撐關(guān)鍵技術(shù)[J]. 方斌,田偉,王汝冬,朱巖,張永凱,王飛.  激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2015(09)
[3]高精度平面絕對(duì)標(biāo)定[J]. 苗二龍,蘇東奇,彭石軍.  激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2014(05)
[4]高精度標(biāo)準(zhǔn)鏡支撐結(jié)構(gòu)的研究與設(shè)計(jì)[J]. 丁玲,王濤,楊洪波,賈宏光.  紅外與激光工程. 2014(04)
[5]基于快速傅里葉變換的四種相位解包裹算法[J]. 王華英,于夢(mèng)杰,劉飛飛,劉佐強(qiáng).  強(qiáng)激光與粒子束. 2013(05)
[6]三維面型的絕對(duì)測(cè)量[J]. 田愛(ài)玲,鄭顯鋒,劉丙才,王紅軍,王春慧,鄭穎.  西安工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào). 2012(06)
[7]Zernike多項(xiàng)式波面擬合精度研究[J]. 馮婕,白瑜,邢廷文.  光電技術(shù)應(yīng)用. 2011(02)
[8]Zernike多項(xiàng)式擬合曲面中擬合精度與采樣點(diǎn)數(shù)目研究[J]. 謝蘇隆.  應(yīng)用光學(xué). 2010(06)
[9]基于彈性力學(xué)的應(yīng)力加工方法有限元分析[J]. 孫天祥,楊力,吳永前,雷柏平,萬(wàn)勇建.  強(qiáng)激光與粒子束. 2010(02)
[10]大口徑望遠(yuǎn)鏡主鏡支撐結(jié)構(gòu)研究[J]. 王洋,張景旭,楊飛.  紅外與激光工程. 2006(S2)

博士論文
[1]基于平移旋轉(zhuǎn)的球面絕對(duì)檢測(cè)技術(shù)研究[D]. 宋偉紅.中國(guó)科學(xué)院研究生院（光電技術(shù)研究所） 2014
[2]光學(xué)面形絕對(duì)檢測(cè)技術(shù)研究[D]. 蘇東奇.中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所） 2013
[3]φ600mm近紅外相移斐索干涉儀校準(zhǔn)及測(cè)試技術(shù)研究[D]. 劉兆棟.南京理工大學(xué) 2011
[4]φ300mm移相干涉儀的關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 武旭華.南京理工大學(xué) 2007
[5]基于干涉法的量塊長(zhǎng)度測(cè)量技術(shù)研究[D]. 蘇俊宏.南京理工大學(xué) 2006

碩士論文
[1]平面標(biāo)準(zhǔn)鏡的絕對(duì)標(biāo)定技術(shù)研究[D]. 高飛.西安工業(yè)大學(xué) 2017
[2]高精度小平面干涉檢測(cè)技術(shù)研究[D]. 劉婷.西安工業(yè)大學(xué) 2015
[3]透鏡重力變形補(bǔ)償技術(shù)研究[D]. 楊麗娟.中國(guó)科學(xué)院研究生院（光電技術(shù)研究所） 2014
[4]空間大口徑反射鏡優(yōu)化設(shè)計(jì)及其支撐技術(shù)研究[D]. 王超.中國(guó)科學(xué)院研究生院（西安光學(xué)精密機(jī)械研究所） 2014
[5]基于變頻相移干涉的面形檢測(cè)算法研究[D]. 劉劍.西安工業(yè)大學(xué) 2014
[6]反射鏡支撐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與分析[D]. 嚴(yán)從林.中國(guó)科學(xué)院研究生院（光電技術(shù)研究所） 2013
[7]基于相移干涉的大平面測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 鄭顯鋒.西安工業(yè)大學(xué) 2012
[8]高精度球面面形絕對(duì)檢測(cè)方法研究[D]. 王東升.浙江大學(xué) 2011
[9]大口徑望遠(yuǎn)鏡主鏡側(cè)支撐結(jié)構(gòu)優(yōu)化[D]. 李成明.中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所） 2010
[10]波長(zhǎng)移相干涉測(cè)量技術(shù)研究[D]. 郝晶晶.南京理工大學(xué) 2007



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