大口徑平面光學元件廣泛的應用于航空航天、天文探索、高功率激光系統(tǒng)等重大國家工程中,因此,對于大平面光學平面元件面形檢測的研究顯得尤為必要和重要。常用干涉方法對平面面形進行檢測,菲索干涉儀作為典型的平面面形干涉檢測儀器,其檢測精度很大程度上取決于光學參考平面的面形精度。光學平面口徑增大致使其自身重力的增加,會使得參考平面發(fā)生重力變形,從而對待測平面元件檢測結果產生很大的誤差。所以大口徑參考平面的高精度面形的標定成為檢測過程中必不可少的一環(huán),也是保證大口徑光學系統(tǒng)檢測水平提升的必然途徑。本文在傳統(tǒng)的三平面互檢面形標定方法的基礎上,采用Zemike多項式擬合的三平面互檢面形標定方法,并結合相移干涉技術的理論分析和仿真,分析得到相移過程中干涉條紋處理的計算誤差達到2mm。同時,針對300mm 口徑的參考平面在不同的裝夾支撐方式、參考面厚度、平面口徑等參數(shù)條件下的自重變形,運用有限元分析方法進行分析仿真。所以選取T型六點支撐方式作為大口徑參考平面的裝夾支撐方式,該支撐方式下參考面的重力變形仿真達到20nm。隨后,分析了參考面的變形對Zernike多項式擬合的三面互檢面形標定結果的影響,得到變形后... 

【文章來源】：西安工業(yè)大學陜西省

【文章頁數(shù)】：73 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

多點浮動支撐

底部環(huán)狀支撐

側面膠點支撐

【參考文獻】：
期刊論文
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碩士論文
[1]平面標準鏡的絕對標定技術研究[D]. 高飛.西安工業(yè)大學 2017
[2]高精度小平面干涉檢測技術研究[D]. 劉婷.西安工業(yè)大學 2015
[3]透鏡重力變形補償技術研究[D]. 楊麗娟.中國科學院研究生院（光電技術研究所） 2014
[4]空間大口徑反射鏡優(yōu)化設計及其支撐技術研究[D]. 王超.中國科學院研究生院（西安光學精密機械研究所） 2014
[5]基于變頻相移干涉的面形檢測算法研究[D]. 劉劍.西安工業(yè)大學 2014
[6]反射鏡支撐結構設計與分析[D]. 嚴從林.中國科學院研究生院（光電技術研究所） 2013
[7]基于相移干涉的大平面測量關鍵技術研究[D]. 鄭顯鋒.西安工業(yè)大學 2012
[8]高精度球面面形絕對檢測方法研究[D]. 王東升.浙江大學 2011
[9]大口徑望遠鏡主鏡側支撐結構優(yōu)化[D]. 李成明.中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所） 2010
[10]波長移相干涉測量技術研究[D]. 郝晶晶.南京理工大學 2007



本文編號：3554150