基于電流體噴印的微透鏡陣列制備工藝研究
發(fā)布時(shí)間:2021-11-04 17:50
微透鏡及微透鏡陣列在眾多的工程應(yīng)用中有著重要的應(yīng)用價(jià)值和廣闊前景,然而,目前的制備工藝步驟較為復(fù)雜,且加工設(shè)備昂貴。因此如何低成本、高效便捷地制作微透鏡陣列仍然是目前關(guān)注的重點(diǎn)。本文利用電流體噴印技術(shù),以甘油水溶液為噴射材料制作微透鏡陣列陽模,并以此為基礎(chǔ)制備了微透鏡陣列,主要工作如下:首先,對國內(nèi)外微透鏡陣列的制作工藝和電噴印技術(shù)的現(xiàn)狀進(jìn)行了論述,介紹了目前常用的微透鏡陣列制作技術(shù),闡述了電噴印技術(shù)的特點(diǎn)和發(fā)展現(xiàn)狀,提出了基于電噴印制作微透鏡陣列的工藝新方法,并對本文的各個(gè)章節(jié)所研究的部分進(jìn)行簡要敘述。其次,研究了電噴印的特性和基礎(chǔ)理論,分析高壓脈沖下電噴印的噴印規(guī)律,推導(dǎo)了脈沖電壓和偏壓對噴射的影響,為電噴印微滴陣列提供了理論依據(jù)。選取甘油水溶液為電噴印材料,搭建了一套電噴印實(shí)驗(yàn)平臺(tái),用以制作甘油微滴陣列陽模,并提出了制作甘油微滴陣列的實(shí)驗(yàn)方案和步驟。然后,通過實(shí)驗(yàn)研究了電噴印工藝參數(shù)對甘油水溶液噴射穩(wěn)定性的影響,確定了電噴印的工藝范圍;針對電噴印中噴頭處液滴不穩(wěn)定情況,提出了利用計(jì)算機(jī)視覺檢測噴頭處液滴的狀態(tài),優(yōu)化電噴印工藝。對電壓大小、脈沖頻率、噴頭內(nèi)徑和噴頭到收集板之間的距離...
【文章來源】:廣東工業(yè)大學(xué)廣東省
【文章頁數(shù)】:79 頁
【學(xué)位級別】:碩士
【部分圖文】:
光刻熱熔法步驟示意圖
圖 1-2 電噴印原理圖Figure 1-2 Schematic diagram of electro-printing的多物理場的綜合作用過程[38],錐射流的形成、飛分辨率和定位精度有重要影響,噴印效果主要受噴性等的綜合影響。電噴印的主要方式為:在噴嘴和
圖 1-3 電噴印和自組裝技術(shù)結(jié)合制造的微納米結(jié)構(gòu)[50]-3 Micro-nanostructures fabricated by electro-printing and self-assembly techniqu51]等人的研究結(jié)果還表明,電噴印在柔性電子領(lǐng)域也有重要的應(yīng)用的利用電噴印工藝噴印不同材料,用于微光學(xué)器件的制造,例如微透鏡等,如圖 1-4 所示。
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]基于SU-8的微透鏡陣列的設(shè)計(jì)和制作[J]. 劉建林,張斌珍,崔敏,張劍,季長紅. 微納電子技術(shù). 2012(03)
[2]柔性電子噴印制造:材料、工藝和設(shè)備[J]. 尹周平,黃永安,布寧斌,王小梅,熊有倫. 科學(xué)通報(bào). 2010(25)
[3]直流電壓下基于電液耦合動(dòng)力學(xué)原理的微噴試驗(yàn)研究[J]. 黃永芳,徐磊,鄭高峰,劉志鵬,孫道恒. 傳感技術(shù)學(xué)報(bào). 2010(07)
[4]聚合物微透鏡陣列的光學(xué)性能測試[J]. 張玉虹,劉寶元. 中國西部科技. 2008(27)
[5]電紡絲形成纖維的過程分析[J]. 王新威,胡祖明,潘婉蓮,劉兆峰. 合成纖維工業(yè). 2004(02)
[6]二元微光學(xué)元件復(fù)制技術(shù)的研究[J]. 湯一新,王輝,蔡鐵權(quán),金國藩. 儀器儀表學(xué)報(bào). 1995(S1)
[7]微透鏡陣列的計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)化[J]. 胡凱,蔣向前,劉曉軍. 計(jì)量技術(shù). 2009 (09)
博士論文
[1]基于微流體脈沖噴射的微透鏡陣列制備技術(shù)及實(shí)驗(yàn)研究[D]. 朱曉陽.南京理工大學(xué) 2016
[2]基于激光技術(shù)的復(fù)雜結(jié)構(gòu)和功能性器件研究[D]. 吳東.吉林大學(xué) 2010
本文編號(hào):3476202
【文章來源】:廣東工業(yè)大學(xué)廣東省
【文章頁數(shù)】:79 頁
【學(xué)位級別】:碩士
【部分圖文】:
光刻熱熔法步驟示意圖
圖 1-2 電噴印原理圖Figure 1-2 Schematic diagram of electro-printing的多物理場的綜合作用過程[38],錐射流的形成、飛分辨率和定位精度有重要影響,噴印效果主要受噴性等的綜合影響。電噴印的主要方式為:在噴嘴和
圖 1-3 電噴印和自組裝技術(shù)結(jié)合制造的微納米結(jié)構(gòu)[50]-3 Micro-nanostructures fabricated by electro-printing and self-assembly techniqu51]等人的研究結(jié)果還表明,電噴印在柔性電子領(lǐng)域也有重要的應(yīng)用的利用電噴印工藝噴印不同材料,用于微光學(xué)器件的制造,例如微透鏡等,如圖 1-4 所示。
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]基于SU-8的微透鏡陣列的設(shè)計(jì)和制作[J]. 劉建林,張斌珍,崔敏,張劍,季長紅. 微納電子技術(shù). 2012(03)
[2]柔性電子噴印制造:材料、工藝和設(shè)備[J]. 尹周平,黃永安,布寧斌,王小梅,熊有倫. 科學(xué)通報(bào). 2010(25)
[3]直流電壓下基于電液耦合動(dòng)力學(xué)原理的微噴試驗(yàn)研究[J]. 黃永芳,徐磊,鄭高峰,劉志鵬,孫道恒. 傳感技術(shù)學(xué)報(bào). 2010(07)
[4]聚合物微透鏡陣列的光學(xué)性能測試[J]. 張玉虹,劉寶元. 中國西部科技. 2008(27)
[5]電紡絲形成纖維的過程分析[J]. 王新威,胡祖明,潘婉蓮,劉兆峰. 合成纖維工業(yè). 2004(02)
[6]二元微光學(xué)元件復(fù)制技術(shù)的研究[J]. 湯一新,王輝,蔡鐵權(quán),金國藩. 儀器儀表學(xué)報(bào). 1995(S1)
[7]微透鏡陣列的計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)化[J]. 胡凱,蔣向前,劉曉軍. 計(jì)量技術(shù). 2009 (09)
博士論文
[1]基于微流體脈沖噴射的微透鏡陣列制備技術(shù)及實(shí)驗(yàn)研究[D]. 朱曉陽.南京理工大學(xué) 2016
[2]基于激光技術(shù)的復(fù)雜結(jié)構(gòu)和功能性器件研究[D]. 吳東.吉林大學(xué) 2010
本文編號(hào):3476202
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