伴隨現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,光學(xué)元器件被廣泛使用,所以光學(xué)材料表面實(shí)現(xiàn)超光滑加工變得越來(lái)越重要。為解決傳統(tǒng)磨粒流拋光效率相對(duì)較低的問(wèn)題,提出了水力空化氣液固三相磨粒流拋光方法。該方法利用異形文丘里管結(jié)構(gòu)產(chǎn)生空化效應(yīng),空化產(chǎn)生的微射流加速磨粒與工件的碰撞,從而提高磨粒流拋光效率。本文主要完成的工作如下:（1）理論研究:在課題組原有將氣泡直接通入軟性磨粒流形成氣液固三相磨粒流基礎(chǔ)上,分析空化產(chǎn)生的機(jī)理,嘗試將常規(guī)文丘里管的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改造,改造后的異形文丘里管自發(fā)空化產(chǎn)生氣泡,利用氣泡潰滅效應(yīng)提高材料去除。（2）數(shù)值分析:基于mixture多相流計(jì)算方法,利用realize k-ε湍流模型和Singhl空化模型,建立了氣液兩相流流體空化力學(xué)模型,通過(guò)數(shù)值模擬計(jì)算結(jié)果驗(yàn)證了本文所提空化結(jié)構(gòu)的可行性,并明確了流場(chǎng)特性和空化特性,獲得優(yōu)化結(jié)構(gòu)尺寸,即本文中的角度α取55°,L_B尺寸取0.9mm,L_C尺寸取1.0mm。（3）實(shí)驗(yàn)平臺(tái)設(shè)計(jì):基于異形文丘里管的結(jié)構(gòu)特點(diǎn),設(shè)計(jì)了相對(duì)應(yīng)的機(jī)械結(jié)構(gòu),建立了整套全自動(dòng)循環(huán)的氣液固三相磨粒流加工實(shí)驗(yàn)平臺(tái),包括管道的穩(wěn)定性與安全... 

【文章來(lái)源】：浙江工業(yè)大學(xué)浙江省

【文章頁(yè)數(shù)】：79 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

單晶硅

題的來(lái)源論文來(lái)源于國(guó)家自然科學(xué)基金委面上項(xiàng)目——面約束流場(chǎng)中空化沖學(xué)規(guī)律及其壁面效應(yīng)可控性研究（項(xiàng)目編號(hào)：51575494）。究背景及研究現(xiàn)狀研究背景十世紀(jì)七十年代以來(lái)，半導(dǎo)體技術(shù)、現(xiàn)代電子信息技術(shù)不斷更新?lián)Q代工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)生產(chǎn)的工藝產(chǎn)品不斷向著精密化、環(huán)�；⒓苫�、展，對(duì)于軍工、航天、航空、天文等領(lǐng)域內(nèi)需要大量的不同口徑與璃如圖 1-2 的 K9 玻璃以及半導(dǎo)體元器件[1-4]，例如在現(xiàn)代飛機(jī)制造中統(tǒng)中使用的特殊構(gòu)造異形棱鏡，手機(jī)制造中的各種攝像鏡頭如圖 1-達(dá)到 7nm 級(jí)別的 COMS 半導(dǎo)體元器件、天文望遠(yuǎn)鏡中低色散玻璃 1-1 為單晶硅，用于制造半導(dǎo)體器件和太陽(yáng)能電池等。

半導(dǎo)體技術(shù)、現(xiàn)代電子信息技術(shù)域內(nèi)生產(chǎn)的工藝產(chǎn)品不斷向著精密化、環(huán)�；姽ぁ⒑教�、航空、天文等領(lǐng)域內(nèi)需要大量的2 的 K9 玻璃以及半導(dǎo)體元器件[1-4]，例如在現(xiàn)代特殊構(gòu)造異形棱鏡，手機(jī)制造中的各種攝像鏡 級(jí)別的 COMS 半導(dǎo)體元器件、天文望遠(yuǎn)鏡中晶硅，用于制造半導(dǎo)體器件和太陽(yáng)能電池等。圖 1-1 單晶硅 圖 1-2 K9 玻璃-1. Single crystal silicon Figure 1-2. K9 g


本文編號(hào)：3442638