傳統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型無(wú)法將輸入功率控制在合理的范圍內(nèi),為此提出工藝參數(shù)對(duì)光學(xué)元件加工精度影響的數(shù)學(xué)模型研究。運(yùn)用普林斯頓線(xiàn)性方程標(biāo)定工藝參數(shù),再運(yùn)用對(duì)稱(chēng)算法計(jì)算光學(xué)元件加工精度誤差。完成上述工作后,依據(jù)傅立葉變換理論,確定數(shù)學(xué)模型特性,實(shí)現(xiàn)數(shù)學(xué)模型的構(gòu)建。由此,完成工藝參數(shù)對(duì)光學(xué)元件加工精度影響的數(shù)學(xué)模型研究。最后,應(yīng)用分析軟件COMSOL Multiphysics建立實(shí)驗(yàn)平臺(tái),分別測(cè)試數(shù)學(xué)模型和傳統(tǒng)數(shù)學(xué)模型是否能夠?qū)⑤斎牍β士刂圃诤侠矸秶鷥?nèi)。所建數(shù)學(xué)模型實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,峰值去除率呈線(xiàn)性增長(zhǎng),當(dāng)輸入功率越高,電子被激發(fā)的速度越快,分布范圍越大。由此可知,所建數(shù)學(xué)模型可以將輸入功率控制在合理的范圍內(nèi)。 

【文章來(lái)源】：激光雜志. 2020,41(08)北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：4 頁(yè)

【部分圖文】：

光學(xué)元件拋光過(guò)程

為驗(yàn)證所提的數(shù)學(xué)模型構(gòu)建的合理性，設(shè)置實(shí)驗(yàn)，應(yīng)用分析軟件COMSOL Multiphysics建立實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，仿真實(shí)驗(yàn)流程圖，見(jiàn)圖2所示;在氣壓下CCP的仿真平臺(tái)下，對(duì)傳統(tǒng)數(shù)學(xué)模型和本次構(gòu)建的數(shù)學(xué)模型進(jìn)行仿真分析。工藝參數(shù)包括氣體流量、輸出功率和加工距離等。在本次實(shí)驗(yàn)中為簡(jiǎn)化計(jì)算過(guò)程，僅計(jì)算輸出功率對(duì)光學(xué)元件加工精度的影響，檢測(cè)2種數(shù)學(xué)模型是否能夠達(dá)到生產(chǎn)的自動(dòng)化的目標(biāo)。等離子放電是由外加電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)的，輸入功率越大，就會(huì)有越多的能量傳遞給電子。重粒子在與中性氣體分子發(fā)生碰撞時(shí)，才能有效地交換能量。在實(shí)驗(yàn)中，需要設(shè)置合理的邊界條件，保證計(jì)算結(jié)果的有效性。

實(shí)驗(yàn)對(duì)比結(jié)果

【參考文獻(xiàn)】：
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