本文設(shè)計(jì)的新型多功能圓分度標(biāo)準(zhǔn)裝置是以我國現(xiàn)行平面線角度計(jì)量基準(zhǔn)的技術(shù)為基礎(chǔ),以滿足目前角度計(jì)量所需的360°全周、動靜態(tài)測量、微細(xì)步進(jìn)角度定位測量的多功能高精度角度計(jì)量測量需要,可用于感應(yīng)同步器、圓光柵、光電軸角度編碼器、多面棱體等角度計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器動靜態(tài)測量和刻制計(jì)量圓光柵、感應(yīng)同步器等計(jì)量器具。本文首先介紹了圓分度標(biāo)準(zhǔn)裝置關(guān)鍵部件圓光柵的莫爾條紋測量原理和測角系統(tǒng)的電子細(xì)分原理。然后闡述了高精度密珠軸系、基于FPGA的交流伺服電機(jī)控制器、基準(zhǔn)光柵和指示光柵、多頭讀數(shù)裝置等測角系統(tǒng)的硬件設(shè)計(jì)和控制軟件開發(fā);同時(shí),本文闡述了圓感應(yīng)同步器檢測電路、圓光柵刻制裝置的設(shè)計(jì)和開發(fā)。其次,本文對密珠軸系徑向跳動量進(jìn)行了測量和數(shù)據(jù)分析,采用全組合常角法實(shí)測了測角系統(tǒng)的圓分度誤差,實(shí)測結(jié)果表明該新型多功能圓分度標(biāo)準(zhǔn)裝置達(dá)到設(shè)計(jì)指標(biāo),滿足使用要求。最后,本文還介紹了該裝置用于測量感應(yīng)同步器、光電軸角編碼器及刻制圓光柵、基準(zhǔn)圓光柵和復(fù)制圓光柵母版等應(yīng)用。 

【文章來源】：大連理工大學(xué)遼寧省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：63 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
1 緒論
    1.1 研究背景及現(xiàn)狀
    1.2 國內(nèi)外相關(guān)研究概況及發(fā)展趨勢
        1.2.1 國外相關(guān)研究概況
        1.2.2 國內(nèi)相關(guān)研究概況
        1.2.3 檢測現(xiàn)狀及需求
    1.3 研究的目標(biāo)
    1.4 研究思想及需求分析
2 圓分度標(biāo)準(zhǔn)裝置機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)和開發(fā)
    2.1 圓分度標(biāo)準(zhǔn)裝置角度測量系統(tǒng)原理的研究
        2.1.1 圓光柵及其測量原理
        2.1.2 電子細(xì)分原理
    2.2 高精度密珠軸系的設(shè)計(jì)和開發(fā)
        2.2.1 設(shè)計(jì)原則與方案
        2.2.2 安裝與調(diào)試
    2.3 基于FPGA的交流伺服電機(jī)控制器的設(shè)計(jì)和開發(fā)
        2.3.1 伺服電機(jī)控制器的設(shè)計(jì)
        2.3.2 控制電路的設(shè)計(jì)方案
    2.4 測角系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和開發(fā)
        2.4.1 基準(zhǔn)光柵設(shè)計(jì)
        2.4.2 指示光柵設(shè)計(jì)
        2.4.3 多頭圓光柵讀數(shù)系統(tǒng)硬件和軟件的設(shè)計(jì)
    2.5 圓感應(yīng)同步器檢測電路設(shè)計(jì)和開發(fā)
        2.5.1 零位測試線路設(shè)計(jì)
        2.5.2 細(xì)分誤差測試線路設(shè)計(jì)
    2.6 圓光柵刻制裝置的設(shè)計(jì)和開發(fā)
        2.6.1 光刻刀架的設(shè)計(jì)開發(fā)
        2.6.2 光刻電源及控制
        2.6.3 光刻圓光柵直流電平的控制
    2.7 本章小結(jié)
3 圓分度標(biāo)準(zhǔn)裝置精度分析與測量
    3.1 密珠軸系徑向跳動量測量
        3.1.1 測量原理
        3.1.2 測量步驟及其數(shù)據(jù)處理
    3.2 圓分度標(biāo)準(zhǔn)裝置圓分度誤差實(shí)例驗(yàn)證
        3.2.1 測量原理
        3.2.2 測量步驟及其數(shù)據(jù)處理
    3.3 多頭讀數(shù)系統(tǒng)的驗(yàn)證
    3.4 本章小結(jié)
4 圓分度標(biāo)準(zhǔn)裝置多功能應(yīng)用的研究
    4.1 感應(yīng)同步器的測量
        4.1.1 測量原理
        4.1.2 測量方法
    4.2 圓光柵的刻制
        4.2.1 大功率曝光法刻制
        4.2.2 重復(fù)曝光法刻制
    4.3 本章小結(jié)
5 圓分度標(biāo)準(zhǔn)裝置測量的實(shí)例分析
    5.1 測量原理及計(jì)量特性
    5.2 測量步驟與測量數(shù)據(jù)分析
    5.3 本章小結(jié)
結(jié)論
參考文獻(xiàn)
攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表學(xué)術(shù)論文情況
致謝


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]如何利用全組合常角法測量圓分度誤差[J]. 周駿,戚麗紅.  計(jì)量與測試技術(shù). 2015(01)
[2]提高圓光柵測角系統(tǒng)精度的讀數(shù)頭設(shè)計(jì)[J]. 蘇東風(fēng),續(xù)志軍,賈繼強(qiáng),劉波,李大偉.  電子測量與儀器學(xué)報(bào). 2013(07)
[3]光柵測量系統(tǒng)的誤差研究[J]. 陳曉懷,杜國山,程真英.  電子測量與儀器學(xué)報(bào). 2012(03)
[4]激光跟蹤儀測角誤差的現(xiàn)場評價(jià)[J]. 林嘉睿,邾繼貴,張皓琳,楊學(xué)友,葉聲華.  儀器儀表學(xué)報(bào). 2012(02)
[5]車載經(jīng)緯儀的測量誤差修正[J]. 王濤,宋立維.  儀器儀表學(xué)報(bào). 2012(02)
[6]高精度角度的測試[J]. 鮮立剛,劉玉成.  計(jì)量與測試技術(shù). 2010(12)
[7]小型大孔徑高精度編碼器的精度分析[J]. 杜穎財(cái),萬秋華,盧新然,梁立輝.  電子測量與儀器學(xué)報(bào). 2010(08)
[8]光柵回轉(zhuǎn)式壓電微角度執(zhí)行器的研究[J]. 張立,林玉池,趙美蓉,齊永岳,秦峰.  傳感器與微系統(tǒng). 2010(01)
[9]動態(tài)角運(yùn)動校準(zhǔn)技術(shù)綜述[J]. 彭軍,何群,孫豐甲.  計(jì)測技術(shù). 2008(05)
[10]基于反射式三光柵光學(xué)系統(tǒng)的金屬光柵編碼器[J]. 蘇東風(fēng),續(xù)志軍.  紅外與激光工程. 2008(S1)

博士論文
[1]高精度標(biāo)定轉(zhuǎn)臺光柵測角系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 蘇東風(fēng).中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所） 2011
[2]測繪相機(jī)標(biāo)定轉(zhuǎn)臺結(jié)構(gòu)系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 田學(xué)光.中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所） 2010

碩士論文
[1]光纖光柵傳感器應(yīng)變傳遞理論研究[D]. 周廣東.大連理工大學(xué) 2007
[2]高精度絕對式光電軸角編碼器高質(zhì)量光電信號的提取方法[D]. 吳凡.電子科技大學(xué) 2003
[3]通用轉(zhuǎn)矩測量系統(tǒng)的研究[D]. 劉國安.浙江工業(yè)大學(xué) 2003



本文編號：3222963