隨著低功耗、高性能、高集成度且具備良好便攜性的產品的社會需求不斷增加,嵌入式處理平臺開始為越來越多的產品提供解決方案。白光干涉儀能夠實現(xiàn)對微觀表面形貌的納米級測量,然而國內對其干涉數(shù)據的處理一直無法擺脫對傳統(tǒng)PC機的依賴。因此,本文主要設計了基于嵌入式平臺的白光干涉數(shù)據處理系統(tǒng)。本文通過對國內外白光干涉儀產品以及嵌入式處理器的調研和分析,選用GPU+ARM架構的NVIDIA Jetson TX2嵌入式平臺進行應用程序的開發(fā),搭建了簡易的白光干涉光路,驗證了其功能和可行性。設計了系統(tǒng)的總體設計方案。對白光干涉仿真圖像進行了光強峰值提取算法的研究和實現(xiàn),通過對比不同算法的提取精度、速度以及抗干擾能力的大小,發(fā)現(xiàn)七步相移法具備較強的綜合優(yōu)勢,選用該算法完成高度信息的提取并獲得待測件表面的點云數(shù)據�；赒t完成了圖形交互界面的設計并將其集成到嵌入式數(shù)據處理系統(tǒng)的頂層用戶應用程序中。交互界面采用多個堆棧窗口創(chuàng)建不同的功能界面。使用Open GL ES圖形接口實現(xiàn)三維表面形貌的重建,通過對三維模型的幾何變換處理并基于幀緩存技術將三維圖形渲染到紋理,便于從不同角度實現(xiàn)對待測件表面形貌變化的觀測并實現(xiàn)... 

【文章來源】：哈爾濱工業(yè)大學黑龍江省 211工程院校 985工程院校

【文章頁數(shù)】：76 頁

【學位級別】：碩士

【圖文】：

Taylor-Hobson公司的FormTalysurfPGIDimension其中，美國的Veeco公司生產的NT9800表面輪廓儀垂直測量范圍為10mm，

1-1 Taylor-Hobson 公司的 FormTalysurf PGI Dimension的 Veeco 公司生產的 NT9800 表面輪廓儀垂直測量范m，RMS 重復性 0.01nm；Taylor Hobson 公司生產的，垂直測量范圍大于 10mm，垂直分辨率達到 0.1n。ZYGO 公司生產的基于白光光源的 New View 73測量系統(tǒng)采用白光作為光源，利用白光干涉的特性上進行改裝，通過壓電陶瓷驅動參考鏡進給實現(xiàn)對中提取出最佳干涉點所在位置得到各點的相對高度貌[8]。其垂直測量范圍達到 20mm，橫向分辨率由顯決定，垂直分辨率為 0.1nm，RMS 重復性為 0.01nm

哈爾濱工業(yè)大學工程碩士學位論文YENCE 于 2017 年生產的 WI-5000 系列干涉式同軸 3D 位移WI-5000 位移測量儀基于白光干涉原理，完成實現(xiàn)高精度、-5000 系列位移測量儀產品實現(xiàn)了對面的同時測量，加上設時間得以大幅縮短，無需依賴超高精度的載物臺驅動就可采用專用拍攝元件，在高速拍攝后即可在元件內完成超高速執(zhí)行拍攝數(shù)據讀取、干涉峰值運算及高度圖像傳輸?shù)钠骄瓤蛇_ 0.1μm。該位移測量儀包具備多項測量功能，包括能（如二值化、高斯、邊緣提取等）、高度測量（如輪廓（如距離測量、寬度測量、直線檢測等）、輔助功能測量示等）等，部分測量功能如圖 1-4 所示。


本文編號：2965638