【摘要】：液晶顯示技術(shù)的發(fā)展,推動了液晶檢測技術(shù)的不斷進步。現(xiàn)如今,隨著人們對產(chǎn)品品質(zhì)的要求不斷提高,大尺寸的液晶面板日漸普及。從第七代線開始,非接觸氣浮運輸和檢測平臺逐步成為主流,與傳統(tǒng)的傳輸方式相比,氣浮運輸減少了接觸性損傷、基材變形等問題,大幅提高了產(chǎn)品良率。氣浮平臺采用氣體作為介質(zhì),通過在平臺表面和玻璃基板之間形成一層氣體薄膜來實現(xiàn)支承和潤滑的功能。根據(jù)供壓方式的不同,主要分為正壓氣浮平臺和負壓吸附式氣浮平臺,后者具有正負壓交錯布置的出口,其壓強在氣膜的分布更加平穩(wěn),適用于液晶顯示屏表面缺陷的在線檢測系統(tǒng)。本文根據(jù)項問研究的實際需要,首先介紹了氣浮平臺的理論研究,然后對氣浮平臺的參數(shù)進行數(shù)學(xué)推導(dǎo),并在此基礎(chǔ)上建立兒何模型。再利用有限元分析法完成網(wǎng)格劃分和仿真計算,并分析氣源壓強、節(jié)流孔徑、節(jié)流管高度、氣膜厚度等對氣體靜態(tài)特性的影響。之后給出氣浮塊和氣路設(shè)計,氣浮塊設(shè)計主要包括兩大區(qū)域,即測量區(qū)和上下料區(qū)。氣路設(shè)計主要針對正壓氣路和負壓氣路,同時為了避免氣路之間相互干擾,將氣路分路設(shè)計并采用多重穩(wěn)壓的方法減少壓強波動。之后根據(jù)相關(guān)論文和研究經(jīng)驗,合理設(shè)計和選擇適合的氣路元器件。最后在實際氣浮平臺中進行了實驗,氣膜穩(wěn)定性滿足液晶顯示屏光學(xué)成像系統(tǒng)視場范圍。
【學(xué)位授予單位】：合肥工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2017
【分類號】：TH703
【圖文】：

被支承件逡逑—氣浮承栽單元逡逑圖１．１氣浮平臺工作原理逡逑Ｆｉｇ邋１．１邋Ｔｈｅ邋ｗｏｒｋｉｎｇ邋ｐｒｉｎｃｉｐｌｅ邋ｏｆ邋ｆｌｏｔａｔｉｏｎ邋ｐｌａｔｆｏｒｍ逡逑圖１．２氣浮平臺運載單元逡逑３逡逑

當給定邊界條件，比如壁面速度Ｋ、６，端部壓強／７／、外等，便可以解出方逡逑程（２－１５）。以下根據(jù)幾種氣體薄層流動給出其主要流動參數(shù)的表達式及結(jié)果。逡逑圖２．１為兩平行平板間的流動，從圖中可以看到，平行平板具有等間距，假設(shè)逡逑用％表示間距，并設(shè)平板長度為Ｉ、寬度為５。則平行平板的運動狀態(tài)有兩種：固逡逑定不動和相對運動，以下對這兩種情況分別討論。逡逑—邐Ｌ＿邐Ｊ逡逑＂＿—逡逑Ｕ邐Ｐｉ邐Ｋ逡逑Ｐｌ＾邐—－＿＾邐———逡逑ｆ邋ｙ逡逑／邋Ｘ／７Ｘ／邋／／／／／／／／／／／／／／／／／／／逡逑圖２．１兩平行平板間的流動逡逑Ｆｉｇ２．１邋Ｔｈｅ邋ｆｌｏｗｉｎｇ邋ｂｅｔｗｅｅｎ邋ｔｗｏ邋ｐａｒａｌｌｅｌ邋ｐｌａｔｅｓ逡逑（１）兩平板固定不動，流動為沿Ｘ軸的一維流，００。此時兩端壓強分別為ＰＩ、逡逑／？２，兩板面上的速度ｗ＝０，即Ｚ＝０及化時，ｗ＝０�；玖鲃臃匠虨椋哄义希洌疱澹洌卞澹剩姡�、逡逑——ｊ－邐（２－１７）逡逑ｃＵ邋ｄｚ２逡逑１邋）流速Ｗ、平均流速Ｗｍ以及最大流速Ｗｍａｘ逡逑９逡逑

當給定邊界條件，比如壁面速度Ｋ、６，端部壓強／７／、外等，便可以解出方逡逑程（２－１５）。以下根據(jù)幾種氣體薄層流動給出其主要流動參數(shù)的表達式及結(jié)果。逡逑圖２．１為兩平行平板間的流動，從圖中可以看到，平行平板具有等間距，假設(shè)逡逑用％表示間距，并設(shè)平板長度為Ｉ、寬度為５。則平行平板的運動狀態(tài)有兩種：固逡逑定不動和相對運動，以下對這兩種情況分別討論。逡逑—邐Ｌ＿邐Ｊ逡逑＂＿—逡逑Ｕ邐Ｐｉ邐Ｋ逡逑Ｐｌ＾邐—－＿＾邐———逡逑ｆ邋ｙ逡逑／邋Ｘ／７Ｘ／邋／／／／／／／／／／／／／／／／／／／逡逑圖２．１兩平行平板間的流動逡逑Ｆｉｇ２．１邋Ｔｈｅ邋ｆｌｏｗｉｎｇ邋ｂｅｔｗｅｅｎ邋ｔｗｏ邋ｐａｒａｌｌｅｌ邋ｐｌａｔｅｓ逡逑（１）兩平板固定不動，流動為沿Ｘ軸的一維流，００。此時兩端壓強分別為ＰＩ、逡逑／？２，兩板面上的速度ｗ＝０，即Ｚ＝０及化時，ｗ＝０�；玖鲃臃匠虨椋哄义希洌疱澹洌卞澹剩姡�、逡逑——ｊ－邐（２－１７）逡逑ｃＵ邋ｄｚ２逡逑１邋）流速Ｗ、平均流速Ｗｍ以及最大流速Ｗｍａｘ逡逑９逡逑

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本文編號：2761513