超精密加工鋁反射鏡表面形貌建模及散射特性研究
【圖文】:
儀中的反射鏡面組,具體應(yīng)用如圖 1-1 所示。與傳統(tǒng)的反射鏡材料玻璃、無涂層鈹和單晶硅等相比,光學(xué)鋁具有制造周期短、易于成型、質(zhì)量輕等優(yōu)點[6]。另外由鋁合金制備的反射鏡及其支撐結(jié)構(gòu)具有相同的熱膨脹系數(shù),組合使用既可以減少系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的復(fù)雜性,又可以大大提高光學(xué)系統(tǒng)的溫度適應(yīng)性和穩(wěn)定性[8]。光學(xué)反射鏡作為整個系統(tǒng)的核心元件占據(jù)著十分重要的地位,入射光束在經(jīng)過反射鏡面后到達接收器表面聚焦成像,其表面光學(xué)性能對成像質(zhì)量的影響至關(guān)重要。隨著鋁合金光學(xué)反射鏡應(yīng)用領(lǐng)域和需求規(guī)模的不斷增大,如何制造出符合要求的高性能鏡面成為了一個熱門研究方向,由此就促進了光學(xué)反射鏡面加工方法的進一步發(fā)展。
的光散射現(xiàn)象嚴重降低了其表面光學(xué)性能。如圖 1-2 所示,當成像光束入射到鏡面時,產(chǎn)生的反射光線不會集中在鏡面的主反射方向,在光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)部會難以避免的產(chǎn)生雜散光。部分雜散光會通過光學(xué)系統(tǒng)到達探測器表面,嚴重降低光學(xué)系統(tǒng)的信噪比和探測靈敏度,甚至破壞探測設(shè)備[12]。對于鋁合金反射鏡的實際工程應(yīng)用而言,探究影響反射鏡表面散射特性的主要因素及其作用規(guī)律,以便更好的抑制或者消除反射鏡的散射現(xiàn)象具有重要的應(yīng)用價值,但是此前的學(xué)者對超精密加工反射鏡散射特性影響因素的研究卻非常少見。
【學(xué)位授予單位】:哈爾濱工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2018
【分類號】:TH74
【參考文獻】
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,本文編號:2633380
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