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激光掃描系統(tǒng)中f-θ透鏡的光學(xué)設(shè)計

發(fā)布時間:2017-03-23 07:20

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【摘要】:在激光掃描系統(tǒng)中f-θ透鏡是重要的必不可少的部件,它在激光打標(biāo)機、傳真機、印刷機和用于制作半導(dǎo)體集成電路的激光圖形發(fā)生器以及激光掃描精密計量設(shè)備等等光電系統(tǒng)中得到廣泛的應(yīng)用。文中設(shè)計了用于非接觸在線檢測工件尺寸的f-θ透鏡。這種透鏡的特點是一種負(fù)畸變透鏡,屬于像方遠心光路,工作波長為單色光,像質(zhì)要求波像差要小于λ/4,而且要求整個像面成平面且像質(zhì)一致,無漸暈存在。所設(shè)計的f-θ透鏡結(jié)構(gòu)簡單緊湊、焦距小、掃描精度高、加工成本較低,性能達到衍射極限,并具有像面上照度分布均勻,能量集中度高和相對畸變小等優(yōu)點。
【作者單位】: 長春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】激光掃描系統(tǒng) f-θ透鏡 光學(xué)設(shè)計
【分類號】:TN24;O435.2
【正文快照】: 引言激光掃描系統(tǒng)是將時間信息轉(zhuǎn)變?yōu)榭臻g信息的一種系統(tǒng)。其整個過程是:首先使某種信息通過光調(diào)制器對激光進行調(diào)制,調(diào)制后的激光通過光束掃描器在空間改變方向,再經(jīng)f-θ透鏡在接收屏上成一維或兩維圖像。在國內(nèi)外市場上,f-θ透鏡有著很廣泛的應(yīng)用,如印刷機、激光傳真機、導(dǎo)

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王t

本文編號:263229


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