【摘要】：光學(xué)元件的亞表面損傷嚴(yán)重影響著光學(xué)系統(tǒng)的抗激光損傷閾值和大型光學(xué)系統(tǒng)的成像及鍍膜質(zhì)量、系統(tǒng)的長期穩(wěn)定性,很大程度上制約了能源、軍事、航天等高新技術(shù)科研領(lǐng)域的發(fā)展。因此,對光學(xué)元件亞表面損傷的控制成為相關(guān)領(lǐng)域一項(xiàng)至關(guān)重要的技術(shù)。傳統(tǒng)光學(xué)對亞表面損傷問題的關(guān)注極少,隨著入射光源能量的不斷提升,尤其在高功率激光領(lǐng)域,亞表面裂紋的控制才能越來越受人們的關(guān)注。本文研究了基于光的全內(nèi)反射原理獲得光學(xué)元件亞表面損傷信息的一種測量方法。首先分析了照明光源的偏振狀態(tài)對亞表面損傷點(diǎn)的偶極子散射特性,研究了全內(nèi)反射角的變化對偶極子散射的影響,討論了亞表面裂紋情況下,裂紋和S偏振光之間夾角與相對散射功率之間的關(guān)系,通過Matlab軟件的仿真模擬出了參量之間的關(guān)系。其次通過原理的分析和公式推導(dǎo)得到全內(nèi)反射粗定位系統(tǒng)關(guān)鍵部件的設(shè)計(jì)：一是對照明系統(tǒng)光路的設(shè)計(jì)；二是對顯微成像系統(tǒng)中渥拉斯頓棱鏡、諾馬斯基棱鏡的設(shè)計(jì),確定了渥拉斯頓棱鏡的楔角、厚度等參數(shù)關(guān)系,模擬仿真了諾馬斯基棱鏡光軸傾角、楔角、厚度、相干平面出離量等參數(shù)之間的關(guān)系。最后裝調(diào)實(shí)驗(yàn)裝置并觀察樣品的表面及亞表面狀況。
【圖文】：

美國國家點(diǎn)火裝置(NIF)結(jié)構(gòu)示意圖

邐Ｃ＝ｙ邋—逡逑ｉｉｌＡＭ＊ｒ邋ｏ？ｃＨｌ＊ｉ0ｆ逡逑圖１．１美國國家點(diǎn)火裝置（ＮＩＦ）結(jié)構(gòu)示意圖逡逑ｒｉ邋f清義希ǎ幔╁撾義賢跡保部占渫毒擔(dān)海ǎ幔┕胝材匪箍占渫毒抵鞣瓷渚擔(dān)唬ǎ猓┱材匪雇毒靛義希保補(bǔ)諭夥⒄瓜腫醇扒魘棋義希保玻毖潛礱嫠鶘瞬礤義希ǎ保┐蛹庸げ忝娣治鰣義瞎庋г饕怯紗嘈圓牧霞庸ざ�，从生产惦A鈧盞吶墜夤談叢櫻扛霾街楨義系目刂坪苣尋鹽鍘Ｔ詮庋г諧＜潛礱嫠鶘耍ㄈ緲昭�、聋}啤⒒�、残訃娄力簽沉x霞性游锏齲┦遣豢殺苊獾�，，褲摰a嫠鶘艘話惴植莢詒礱嫦錄赴倌擅字良赴儻⒚追段冢義嫌擅攔吐姿估ツ笛槭業(yè)難潛聿憷礪勰Ｐ涂芍�，光学元件钡a娼峁狗治海ǎ保╁義嚇墜獠悖疃然�？Ｉ７w恚饕讜墜飩錐渦緯�；（２）犬吽W悖疃仍冢歟保埃埃蓿歟碇麇義弦讜心ゼ庸そ錐渦緯桑海ǎ常┍湫尾�，深度在１００￣２００＾ｍｉ，主要宰暘件成型阶辶x隙渦緯�，（４）光学材料本体。故褲摰a嫠鶘說鬧氐悴飭渴嵌隕疃齲歟浚保埃埃蓿恚櫚娜畢薟沐義系牟飭浚簦矗擔(dān)�，８ｌ。栽忊学元件褲摰a嫠鶘說募囁刂�，租傌要的是对研磨藉F蔚乃鶘私繡義喜飭

本文編號：2576594