【摘要】：本文研究和構(gòu)思了一種二維多自由度激光測量的方法和裝置,可用于大行程二維工作臺的高精度定位控制。利用同一個激光測量光路,所研制的角度和位移同時測量系統(tǒng),解決了目前幾何量測量儀器一次只能進(jìn)行單參數(shù)測量的局限。本論文主要完成了以下工作：(1)二維多自由度激光測量方法的研究,并介紹了激光同時測量角度和位移的測量原理;(2)二維多自由度激光測量系統(tǒng)的設(shè)計;(3)激光光源進(jìn)行光纖耦合并實現(xiàn)1*2光纖分光；(4)角度和位移同時測量系統(tǒng)的光路設(shè)計及分析;(5)測量系統(tǒng)的機械設(shè)計及調(diào)試：(6)測量系統(tǒng)信號處理電路的設(shè)計；(7)測量系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集程序的編寫；(8)對測量系統(tǒng)進(jìn)行實驗研究及誤差分析。實驗結(jié)果證明：所研制的激光測量系統(tǒng)具有大行程、高精度、低成本等特點,長度測量范圍可達(dá)數(shù)百毫米以上,并具有納米級別的分辨力,穩(wěn)定性優(yōu)于50m;角度測量范圍可達(dá)數(shù)百秒以上,并具有秒以下級別的分辨力,穩(wěn)定性優(yōu)于2"。
【學(xué)位授予單位】：合肥工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號】：TH744.5

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本文編號：2576200