【摘要】：為研究機械刻劃過程中純鋁材料的側(cè)向隆起規(guī)律,基于機械刻劃試驗裝置,分別利用刀尖角為80°、85°、90°、95°和100°的金剛石圓錐刻刀,對純鋁進行深度范圍為5μm~25μm的機械刻劃試驗。通過對隆起高度的檢測分析,建立側(cè)向隆起高度與槽深和刀尖角的數(shù)學統(tǒng)計關(guān)系,通過已知的槽深和刀尖角等參數(shù),在金剛石圓錐刻刀刻劃純鋁材料前,對槽形隆起高度進行簡單預測,同時也對V形槽槽形形狀的預測起到指導性作用。

【參考文獻】

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1 張寶慶;史國權(quán);石廣豐;宋林森;;機械刻劃光柵多層復合鋁薄膜微結(jié)構(gòu)及力學性能分析[J];長春理工大學學報(自然科學版);2012年04期

2 張寶慶;史國權(quán);石廣豐;蔡洪彬;張善文;;衍射光柵機械刻劃成槽的預控試驗[J];光學精密工程;2013年07期

3 石廣豐;史國權(quán);徐志偉;劉哲;蔡洪彬;張寶慶;;中階梯光柵鋁膜的大壓深納米壓痕試驗[J];機械工程學報;2012年20期

【共引文獻】

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1 史國權(quán);劉萌;石廣豐;宋林森;;延伸角錐刀刻劃衍射光柵過程金屬流動規(guī)律的數(shù)值模擬研究[J];長春大學學報;2011年02期

2 吳迪;齊向東;車英;郭林煬;;干涉法在光柵波前檢測中的應用研究[J];長春理工大學學報(自然科學版);2011年02期

3 孫艷玲;謝鐵邦;;一維計量型微位移工作臺的研究[J];傳感器世界;2006年03期

4 劉莉;;光柵應用發(fā)展現(xiàn)狀[J];長沙大學學報;2009年05期

5 孫艷玲;謝鐵邦;;激光干涉接觸式軸承表面輪廓綜合測量[J];軸承;2006年04期

6 李四華,吳亞明,韓曉峰;改善MEMS閃耀光柵衍射效率的研究[J];光電工程;2004年05期

7 印勇;陳梨;田逢春;;利用光柵閃耀特性優(yōu)化低通濾波器[J];光電工程;2006年09期

8 閆許;黃尚廉;張潔;張智海;付紅橋;陳偉民;;反射鏡平動式光柵光調(diào)制器光學分析與仿真[J];光電工程;2006年10期

9 黃早珊;金雪梅;李小龍;歐陽敏;呂曉旭;;平面變間距光柵的夫瑯禾費衍射場分析[J];光電技術(shù)應用;2010年05期

10 倪坤;孫鵬;馮艷秋;;刻劃光柵中刻劃刀的刃口半徑影響研究[J];工具技術(shù);2010年12期

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1 鐘俊;宏觀尺度的納米級定位控制技術(shù)研究[D];中國科學技術(shù)大學;2011年

2 孟凡濤;納米光刻技術(shù)及其在三端結(jié)器件和納米光柵偏振器中的應用[D];大連理工大學;2011年

3 孔鵬;平場全息凹面光柵設(shè)計方法及制作關(guān)鍵技術(shù)研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2011年

4 于海利;基于雙頻激光干涉測量的大行程納米定位技術(shù)及其應用研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2011年

5 吉日嘎蘭圖;光柵刻刀結(jié)構(gòu)設(shè)計與刃口取向方法研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2011年

6 陳剛;混合集成微型光纖光譜儀的研究[D];重慶大學;2002年

7 時輪;一種亞納米級柵距變化量的變柵距光柵分度控制方法的研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2003年

8 任雪暢;基于全息菲涅耳透鏡的波分復用光通信器件[D];廈門大學;2004年

9 夏豪杰;高精度二維平面光柵測量系統(tǒng)及關(guān)鍵技術(shù)研究[D];合肥工業(yè)大學;2006年

10 李森森;離軸全息透鏡型波分復用元件的設(shè)計與制作[D];廈門大學;2007年

【二級參考文獻】

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1 巴音賀希格,高鍵翔,齊向東,李春啟;10.6μm激光器一級輸出高衍射效率閃耀光柵的研制[J];光電子·激光;2004年10期

2 李英海;超精密金剛石刀具──衍射光柵刻劃刀[J];光學精密工程;1996年03期

3 李志海;周上祺;任勤;石泉;邱紹宇;李聰;;鍍層厚度的X射線衍射法測量[J];核動力工程;2006年03期

4 李敏;陳偉民;;納米壓痕實驗微米級深度硬度下降現(xiàn)象的研究(英文)[J];Chinese Journal of Aeronautics;2009年01期

5 王芳;齊向東;;高精度控制光電光柵刻劃機的光柵外差干涉儀[J];激光技術(shù);2008年05期

6 石廣豐;史國權(quán);張壘壘;姜偉平;;衍射光柵機械刻劃過程的有限元仿真分析[J];計算機仿真;2012年05期

7 史國權(quán);倪坤;宋林森;石廣豐;;基于有限元與正交試驗法的機械刻劃光柵研究[J];機械設(shè)計與研究;2011年01期

8 霍德鴻,梁迎春,程凱,董申;基于原子力顯微鏡和分子動力學的納米壓痕技術(shù)研究[J];機械工程學報;2004年06期

9 周亮;姚英學;;納米壓痕硬度尺寸效應分析及其試驗研究[J];機械工程學報;2006年S1期

10 魯春朋;高航;王奔;郭東明;騰曉輯;康仁科;吳東江;;磷酸二氫鉀晶體單點劃痕試驗研究[J];機械工程學報;2010年13期

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2 張寶慶;史國權(quán);石廣豐;蔡洪彬;;衍射光柵機械刻劃工藝理論分析與實驗研究[J];中國機械工程;2014年01期

3 鄒自強;;0.2秒圓刻機的基本原理[J];光學機械;1983年02期

4 ;[J];;年期

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1 董申;閆永達;孫濤;;微探針機械刻劃納米加工技術(shù)[A];2006年中國機械工程學會年會暨中國工程院機械與運載工程學部首屆年會論文集[C];2006年

2 熊祥玉;;光柵掩膜版的機械刻劃與CAD/激光光繪系統(tǒng)評析[A];中國電子學會生產(chǎn)技術(shù)學會機械加工專業(yè)委員會第五屆學術(shù)年會論文集（中）[C];1992年

3 閆永達;孫濤;董申;梁迎春;程凱;;AFM加工中材料去除機理研究[A];全球化、信息化、綠色化提升中國制造業(yè)——2003年中國機械工程學會年會論文集（微納制造技術(shù)應用專題）[C];2003年

4 郭劍;余丙軍;錢林茂;;摩擦誘導納米結(jié)構(gòu)的溶液刻蝕研究[A];2011年全國青年摩擦學與表面工程學術(shù)會議論文集[C];2011年

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1 呂楊楊;光柵機械刻劃顫振機理的研究[D];長春理工大學;2014年

2 張壘壘;中階梯光柵機械刻劃工藝參數(shù)優(yōu)化研究[D];長春理工大學;2012年

3 楊帆;基于AFM的納米機械刻劃切屑形成過程試驗研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2007年

4 莊昀;基于RIE與AFM機械刻劃的納米結(jié)構(gòu)加工實驗研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2014年

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本文編號：2570065