【摘要】：對光柵刻劃機超精密定位系統(tǒng)的定位控制以及實驗進行探索研究.鑒于控制模型和實驗分析驗證出光柵刻劃機超精密定位系統(tǒng)具有較強的非線性和時變性,提出將基于BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的PID控制方法用于光柵刻劃機定位系統(tǒng)控制,利用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的自學(xué)習(xí)實時調(diào)節(jié)PID控制參數(shù),實現(xiàn)精密定位的自適應(yīng)控制.通過控制實驗,穩(wěn)定地獲得了5nm以內(nèi)的定位精度.
[Abstract]:In view of the control model and experimental analysis, PID control method based on BP neural network is proposed to control the positioning system of the grating scriber.
【作者單位】： 合肥師范學(xué)院電子信息工程學(xué)院;中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)精密機械與精密儀器系;長春光學(xué)精密機械與物理研究所;
【基金】：國家重大科研裝備研制項目(ZBYZ2008-1) 安徽省自然科學(xué)基金(1308085QE92) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費專項資金(WK2090090010) 合肥師范學(xué)院人才基金(2013RCJJ04)資助
【分類號】：TH744.1

【參考文獻】

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【共引文獻】

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【二級參考文獻】

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本文編號：2497688