【摘要】：可調(diào)支撐裝置是高精度光學元件的常用支撐結(jié)構(gòu)。分析了可調(diào)支撐裝置支撐力調(diào)節(jié)對光學元件面形的影響規(guī)律。建立可調(diào)支撐裝置的力學模型,利用有限元法計算光學元件的變形,并對光學元件面形進行Zernike多項式擬合。不同工況下分析結(jié)果表明:均勻支撐時光學元件面形均方根(RMS)最小,可調(diào)支撐力變化時,引入的光學元件面形RMS以及主要Zernike多項式系數(shù)均與支撐力線性相關(guān),與光學元件的初始支撐狀態(tài)無關(guān)。建立Fringe Zernike系數(shù)隨任意支撐力變化的敏感度矩陣,采用該矩陣預測隨機工況下光學元件支撐力調(diào)整后面形,預測調(diào)節(jié)面形與有限元仿真調(diào)節(jié)面形基本一致,RMS誤差優(yōu)于0.3%,為可調(diào)支撐裝置的設(shè)計與裝調(diào)提供理論依據(jù)。
[Abstract]:Adjustable support device is a common support structure for high precision optical elements. The influence of adjustable support force adjustment on the surface shape of optical elements is analyzed. The mechanical model of the adjustable supporting device is established, the deformation of the optical element is calculated by the finite element method, and the surface shape of the optical element is fitted by Zernike multinomial. The analysis results under different working conditions show that the surface shape mean square root (RMS) of optical elements is the smallest under uniform support, and the surface shape RMS and main Zernike multinomial coefficients of optical elements are linearly correlated with the support force when the adjustable support force changes. Independent of the initial support state of the optical element. The sensitivity matrix of Fringe Zernike coefficient with arbitrary support force is established. The matrix is used to predict the back shape of optical element support force adjustment under random working conditions. The predicted adjustment surface shape is basically consistent with the finite element simulation adjustment surface shape, and the RMS error is better than 0.3%. It provides a theoretical basis for the design and installation of adjustable support devices.
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學國家重點實驗室超精密光學工程研究中心;
【基金】：國家重大專項02專項(2009ZXO2205)
【分類號】：TH74

【共引文獻】

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本文編號：2483771