【摘要】：為了用更簡(jiǎn)單的光學(xué)器件使對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記產(chǎn)生的衍射光實(shí)現(xiàn)重疊干涉,同時(shí)能夠降低對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的加工和裝調(diào)難度,設(shè)計(jì)了基于瞳面干涉的自參考干涉儀系統(tǒng)。首先,對(duì)當(dāng)前光刻機(jī)所使用的對(duì)準(zhǔn)技術(shù)展開(kāi)研究,以光柵衍射原理和偏振光學(xué)為理論基礎(chǔ),提出了用Koster棱鏡作為合光器件的自參考干涉儀,最后使用線陣CCD收集信號(hào)并將數(shù)據(jù)用計(jì)算機(jī)做后續(xù)的位置信息處理。由于自參考干涉儀測(cè)量系統(tǒng)是以光柵的柵距作為測(cè)量基準(zhǔn),而不是使用激光波長(zhǎng),故測(cè)量系統(tǒng)受環(huán)境因素造成的測(cè)量誤差影響較小。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:系統(tǒng)分辨率為0.2 nm,使得該系統(tǒng)可以達(dá)到納米級(jí)分辨率。證明了所設(shè)計(jì)的干涉儀可用于目前前道光刻機(jī)的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的對(duì)準(zhǔn)測(cè)量,從而使光刻設(shè)備的套刻精度滿足最新工藝節(jié)點(diǎn)的要求。
[Abstract]:In order to achieve overlapping interference of diffracted light produced by alignment mark with simpler optical devices, and to reduce the difficulty of processing and adjusting the alignment system, a self-reference interferometer system based on pupil interference is designed. Firstly, the alignment technology used in lithography machine is studied. Based on the principle of grating diffraction and polarization optics, a self-reference interferometer using Koster prism as optical device is proposed. Finally, linear CCD is used to collect the signal and the data is processed by computer. Because the measuring system of self-reference interferometer takes the grating distance as the measuring reference, instead of using laser wavelength, the measurement error caused by environmental factors is less affected by the measuring system. The experimental results show that the resolution of the system is 0.2 nm, which makes the system achieve nanometer resolution. It is proved that the designed interferometer can be used in the alignment system of the front lithography machine at present, and the alignment measurement of nanometer precision can be realized, so that the engraving accuracy of the lithography equipment can meet the requirements of the latest process nodes.
【作者單位】： 上海理工大學(xué)光電信息與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院;
【基金】：滬江基金(C14002)項(xiàng)目資助
【分類號(hào)】：TH744.3

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本文編號(hào)：2480675