【摘要】：隨著微納米測量系統(tǒng)中測頭微探球尺寸的不斷減小和測量不確定度要求的不斷提高,測力所引起的力變形誤差對測量系統(tǒng)不確定度有著不可忽略的影響。根據(jù)Hertz理論,構(gòu)建了微探球與工件接觸時的接觸模型、微探球與試樣力變形模型,給出了最大允許測力估計方法和力變形計算方法。以現(xiàn)有的3種微納米三坐標測量機微探球為參考,分別估計了允許最大測力及引起的力變形。結(jié)果表明,對于納米量級測量不確定要求,接觸式測量中微探球的受力變形誤差是不可忽略的。
[Abstract]:With the decrease of the size of probe micro-probe ball and the improvement of measurement uncertainty in the micro-nano measurement system, the force deformation error caused by the force measurement has an important influence on the uncertainty of the measurement system. According to Hertz theory, the contact model between micro-probe ball and workpiece and the deformation model of micro-probe ball and sample force are constructed. The maximum allowable force estimation method and force deformation calculation method are given. Based on three kinds of micro-nano coordinate measuring machines (CMMs), the maximum allowable force and the deformation of the force are estimated respectively by using the micro-probe sphere of the existing micro-nano-CMM as a reference. The results show that the mechanical deformation error of the micro-probe sphere in the contact measurement is not negligible for the uncertainty requirement of the nanoscale measurement.
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(51175141) 國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(863計劃)資助重點項目(2008AA042409)
【分類號】：TH721

【參考文獻】

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【共引文獻】

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【二級參考文獻】

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本文編號：2450167