【摘要】：為了實現(xiàn)光學(xué)元件精密檢測平臺定位誤差的自適應(yīng)補償,以保證在不同的檢測環(huán)境中平臺能夠自行保持高精度,提出了基于檢測環(huán)境監(jiān)測和支持向量回歸機的定位誤差自適應(yīng)補償方法。首先,以多組檢測環(huán)境中溫度、濕度和氣壓的具體測量值作為訓(xùn)練數(shù)據(jù),利用支持向量回歸機建立定位誤差最大值的預(yù)測模型,進行最大值預(yù)測。然后,將最大值同溫度、濕度、氣壓等環(huán)境因素和位置信息一起作為訓(xùn)練數(shù)據(jù),迭代使用支持向量回歸機,建立任意位置定位誤差預(yù)測模型。最后,將預(yù)測到的定位誤差值傳入檢測平臺控制器中進行補償。應(yīng)用雷尼紹激光干涉儀,溫度、濕度和氣壓傳感器等儀器設(shè)備,在光學(xué)元件精密檢測平臺上進行了具體實驗。實驗結(jié)果表明該技術(shù)切實可行,預(yù)測數(shù)據(jù)與實測數(shù)據(jù)差值絕對值的平均值為0.88μm,Pearson相關(guān)系數(shù)的平方為0.99,自適應(yīng)補償后平均定位誤差由43μm降為1.4μm。
[Abstract]:In order to realize the adaptive compensation of the positioning error of the precision detection platform for optical elements, the platform can maintain high precision in different detection environments. An adaptive compensation method for positioning error based on detection environment monitoring and support vector regression is proposed. Firstly, with the specific measurement values of temperature, humidity and air pressure as the training data, the prediction model of the maximum positioning error is established by using the support vector regression machine, and the maximum value prediction is carried out. Then, the maximum value is used as the training data together with the environmental factors and position information such as temperature, humidity, air pressure and so on, and the support vector regression is iteratively used to establish the prediction model of the positioning error at any position. Finally, the predicted positioning error is transmitted to the controller of the detection platform to compensate. By using Renishaw laser interferometer, temperature, humidity and air pressure sensors, specific experiments have been carried out on a precise testing platform for optical elements. The experimental results show that this technique is feasible. The average absolute value of the difference between the predicted data and the measured data is 0.88 渭 m, the square of the correlation coefficient of Pearson is 0.999, and the average positioning error after adaptive compensation is reduced from 43 渭 m to 1.4 渭 m.
【作者單位】： 廈門大學(xué)機電工程系;中國工程物理研究院激光聚變研究中心;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(51570343) 福建省自然科學(xué)基金項目(2012J05098)
【分類號】：TH74;TP274

【參考文獻】

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【共引文獻】

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本文編號：2436663