【摘要】：微型拉曼光譜儀的核心部件是分光芯片,研制出適應(yīng)微型拉曼光譜儀微型化、加工精度高、成本低的新型分光芯片對于打破目前的國外技術(shù)專利封鎖,獲得屬于我國的自主知識產(chǎn)權(quán)具有重要意義。將本來誕生于光通信領(lǐng)域的陣列波導(dǎo)光柵用于微型拉曼光譜儀是研究的新思路,其具有尺寸小、精度高、工藝簡單、易于批量生產(chǎn)的優(yōu)點�？偨Y(jié)介紹了用于微型拉曼光譜儀分光芯片的陣列波導(dǎo)光柵在國內(nèi)外的研究進(jìn)展,并且作了相應(yīng)的分析,提出了一定的改進(jìn)方法。
[Abstract]:The core component of the micro-Raman spectrometer is the split-light chip. The development of a new type of spectrometer, which adapts to the miniaturization of the micro-Raman spectrometer with high processing precision and low cost, can break the blockade of the foreign technology patents at present. It is of great significance to acquire independent intellectual property rights which belong to our country. It is a new idea to apply arrayed waveguide grating which was born in the field of optical communication to micro Raman spectrometer. It has the advantages of small size, high precision, simple process and easy to produce in batch. The research progress of arrayed waveguide grating used in micro Raman spectrometer is summarized and analyzed, and some improvement methods are put forward.
【作者單位】： 廈門理工學(xué)院光電與通信工程學(xué)院;福建省光電信息材料與器件重點實驗室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(11304259) 福建省教育廳A類科技計劃項目(JA12254,JA11228)
【分類號】：TH744.1

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前3條

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2 郝鵬;吳一輝;張平;劉永順;張科;黎海文;;一種基于MEMS微硅多狹縫分光光度計[J];光譜學(xué)與光譜分析;2009年06期

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【共引文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

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4 呂金光;梁靜秋;梁中翥;付建國;;空間調(diào)制型傅里葉變換光譜儀光場的均勻性研究[J];光譜學(xué)與光譜分析;2012年01期

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9 安巖;劉英;孫強(qiáng);李淳;劉兵;姜承志;;便攜式拉曼光譜儀的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計與研制[J];光學(xué)學(xué)報;2013年03期

10 姜承志;梁靜秋;梁中翥;孫強(qiáng);王維彪;;準(zhǔn)直系統(tǒng)對靜態(tài)傅里葉變換光譜儀的影響[J];光譜學(xué)與光譜分析;2014年01期

相關(guān)會議論文 前1條

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相關(guān)博士學(xué)位論文 前3條

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相關(guān)碩士學(xué)位論文 前7條

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【二級參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

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10 朱勇建;潘衛(wèi)清;;非球面面形測量技術(shù)[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2010年01期

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【相似文獻(xiàn)】

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2 本報記者 劉莉;兩萬粒鋯石“見微知著”[N];科技日報;2006年

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1 安巖;手持式拉曼光譜儀的光機(jī)系統(tǒng)技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院(長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2014年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

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本文編號：2435539