【摘要】：由于傳統(tǒng)的均方根方法在評(píng)價(jià)大口徑反射鏡時(shí)難以精確表達(dá)光學(xué)表面的中空間頻率誤差,本文提出了基于斜率均方根(SlopeRms)的誤差評(píng)價(jià)方法來(lái)評(píng)價(jià)光學(xué)表面面形。該方法先以Zernike多項(xiàng)式擬合光學(xué)表面面形,在此基礎(chǔ)上求解不同空間間隔上的斜率均方根。這種評(píng)價(jià)方法可以很好地區(qū)分小尺寸磨削工具造成的誤差和大口徑反射鏡在多點(diǎn)支撐下造成的面形誤差。文中建立了SlopeRms的數(shù)學(xué)模型,推導(dǎo)了SlopeRms的計(jì)算方法,并以此方法為基礎(chǔ)對(duì)30m望遠(yuǎn)鏡(TMT)三鏡面形進(jìn)行了評(píng)價(jià)。結(jié)果顯示,采用斜率均方根的評(píng)價(jià)方法得到的光學(xué)表面面形值達(dá)到0.9μrad,優(yōu)于傳統(tǒng)的RMS評(píng)價(jià)方法(RMS=115nm),滿足設(shè)計(jì)要求。結(jié)果顯示,基于斜率均方根的誤差評(píng)價(jià)方法能更加全面和客觀地評(píng)價(jià)大口徑反射鏡面形,具有實(shí)際意義。
[Abstract]:Because the traditional RMS method is difficult to accurately express the middle spatial frequency error of optical surface in the evaluation of large aperture reflector, this paper presents an error evaluation method based on slope root mean square (SlopeRms) to evaluate the surface shape of optical surface. Firstly, the Zernike polynomial is used to fit the surface shape of the optical surface, and on this basis, the root mean square (RMS) of slope at different spatial intervals is solved. This method can well distinguish the errors caused by small grinding tools from those caused by large aperture mirrors under multi-point support. In this paper, the mathematical model of SlopeRms is established, the calculation method of SlopeRms is deduced, and the (TMT) three-mirror shape of 30m telescope is evaluated on the basis of this method. The results show that the optical surface shape obtained by the slope RMS method is better than the traditional RMS evaluation method (RMS=115nm), which meets the design requirements. The results show that the error evaluation method based on the slope root mean square can evaluate the large aperture reflection mirror more comprehensively and objectively, which is of practical significance.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院
【基金】：中科院三期創(chuàng)新工程資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TH743

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2330715