本文關(guān)鍵詞：高加速精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)建模及控制關(guān)鍵技術(shù)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

高加速精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)建模及控制關(guān)鍵技術(shù)研究

高加速精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)建模及控制 關(guān)鍵技術(shù)研究 碩士研究...PID 控制器,以及速度環(huán) PID+擾動(dòng)觀測(cè)器 (DOB)的...精度, Y 向可以 6ms 以?xún)?nèi)達(dá)到±1um 的定位精度,...

超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)高動(dòng)態(tài)性能運(yùn)動(dòng)部件的研究

隨著對(duì)超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)速度加速度和定位精度的不斷提高, 運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)性能的要求也越來(lái) 越高, 這不僅對(duì)控制系統(tǒng)提出了更高的要求, 同時(shí)對(duì)其中運(yùn)動(dòng)部件的模態(tài)...

dsp+fpga高速高精密雙軸同步控制研究

dsp+fpga高速高精密雙軸同步控制研究_兵器/核科學(xué)_工程...調(diào)整機(jī)械安裝位置,提高整體精度,構(gòu)建起整個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)...關(guān)鍵詞:DSP雙軸同步交叉耦合自適應(yīng)模糊PID貼片機(jī) ...

5雙邊驅(qū)動(dòng)精密XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)解耦控制研究

5雙邊驅(qū)動(dòng)精密XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)解耦控制研究_機(jī)械/儀表_工程科技_專(zhuān)業(yè)資料。# 控制與檢測(cè)...高性能精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái) 作為光刻機(jī)的核心技術(shù)之一 , 其運(yùn)動(dòng)精度直接影響光刻機(jī) ...

超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)高動(dòng)態(tài)性能運(yùn)動(dòng)部件的研究

三坐標(biāo)精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的設(shè)計(jì) 3頁(yè) 免費(fèi) 精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)高精度PID控制... 75頁(yè) 2財(cái)富...3 ? 7 ; uu 平冪 ,朋 設(shè)計(jì)與研究 Dia eende s Ragns1 初步理論分析 圖...

超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)隔振系統(tǒng)性能分析與實(shí)驗(yàn)研究

取得了一定 的進(jìn)展 $而對(duì)于微細(xì)加工!除了驅(qū)動(dòng)和運(yùn)動(dòng)進(jìn)給控 #!$ 系統(tǒng) ’控制...高精度微細(xì)加工中平臺(tái)驅(qū)動(dòng)以及超精密測(cè)量各個(gè)環(huán) 節(jié)的熱變形和外界震動(dòng)對(duì)精度的...

基于高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的誤差模型構(gòu)建與分析

精度 (包括納米級(jí)尺寸精度、 2 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)研究的三坐標(biāo)大行程精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái),...基于高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的誤差模型構(gòu)建與分析 5 由于運(yùn)動(dòng)誤差的空間性原因, 環(huán)控制,...

精密運(yùn)動(dòng)控制器LM628的應(yīng)用設(shè)計(jì)

精密運(yùn)動(dòng)控制器LM628的應(yīng)用設(shè)計(jì)_電腦基礎(chǔ)知識(shí)_IT/計(jì)算機(jī)...和微處理器可實(shí) 現(xiàn)低成本、高精度神經(jīng)元 PID 伺服...2014年細(xì)分行業(yè)研究報(bào)告年度盤(pán)點(diǎn) 2014年移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)O2...

近紅外光譜干涉儀高精度運(yùn)動(dòng)控制器設(shè)計(jì)

采用增量式數(shù)字PID控制策略,實(shí)現(xiàn)音圈電機(jī)勻速運(yùn)動(dòng)控制...近紅外光譜干涉儀屬于一種高精度的精密儀器,其中的...年生,碩士,講師,主要研究方向:電 工電子技術(shù)研究。...

...Positioning system高精度定位系統(tǒng)魯棒運(yùn)動(dòng)控制器設(shè)...

system高精度定位系統(tǒng)魯棒運(yùn)動(dòng)控制器設(shè)計(jì)_電子/電路_...在[10]中,Tomizuka 也總結(jié)了過(guò)去和現(xiàn)在的研究 的...運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)圖 1 描述了一個(gè)實(shí)驗(yàn)性的精密運(yùn)動(dòng)...

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