針對浮雕光柵實際加工的光柵形貌與理論設(shè)計形貌存在差異的情況,提出從傅里葉級數(shù)的角度去分析光柵結(jié)構(gòu),探討光柵傅里葉級數(shù)展開式中各空間頻率分量對其結(jié)構(gòu)和衍射效率的影響,試圖在保證高衍射效率的同時,降低光柵的制備難度。對常見的周期性浮雕光柵進(jìn)行傅里葉級數(shù)展開,減少高頻分量,代入仿真軟件建模并計算其衍射效率。仿真結(jié)果表明:對于矩形光柵,光柵陡直度為46.3°時即可滿足最高衍射效率要求;而對于直角三角光柵,光柵陡直度為80.4°并且光刻分辨率不低于300 nm時才可滿足最高衍射效率。針對不同結(jié)構(gòu)的浮雕光柵,在滿足最高衍射效率時保留的高頻含量是不同的,文中提出的分析方法能幫助設(shè)計者根據(jù)具體的光柵結(jié)構(gòu),提出加工精度要求,制定具體加工方案,降低加工制備難度。

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【文章目錄】：
引言
1 矩形光柵的傅里葉級數(shù)分析
2 直角三角光柵的傅里葉級數(shù)分析
3 實驗與測試
4 結(jié)論



本文編號：4002833