【摘要】：熱氣泡式微流體驅(qū)動(dòng)器是微驅(qū)動(dòng)的一個(gè)研究分支,是微流控器件的重要組成部分.熱氣泡式微流體驅(qū)動(dòng)器沒有機(jī)械可動(dòng)部件和機(jī)械變形,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、容易加工制造、可靠性高,在航空航天、生物醫(yī)學(xué)和化學(xué)等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景.目前,熱氣泡式微流體驅(qū)動(dòng)器主要采用4種加熱方式:電阻加熱、電磁感應(yīng)加熱、激光加熱和電火花加熱.對(duì)以上4種熱氣泡式微驅(qū)動(dòng)器的研究進(jìn)展進(jìn)行了總結(jié),分析了不同加熱驅(qū)動(dòng)方式的工作原理、結(jié)構(gòu)組成、微加工制作方法、實(shí)驗(yàn)測(cè)試結(jié)果和驅(qū)動(dòng)特點(diǎn),并對(duì)今后熱氣泡式微驅(qū)動(dòng)器的發(fā)展趨勢(shì)及研究方法進(jìn)行了分析.
[Abstract]:Thermal bubble micro-fluid actuator is a branch of micro-drive and an important part of micro-fluidic devices. Thermal bubble microfluid actuator has no mechanical movable parts and mechanical deformation, simple structure, easy to process and manufacture, and has high reliability. It has broad application prospects in aerospace, biomedical and chemical fields. At present, there are four kinds of heating methods: resistance heating, electromagnetic induction heating, laser heating and electric spark heating. The research progress of the four kinds of thermal bubble micro actuators is summarized. The working principle, structure composition, fabrication method, experimental test results and driving characteristics of different heating drive modes are analyzed. The development trend and research methods of thermal bubble micro actuators in the future are analyzed.
【作者單位】： 北京工業(yè)大學(xué)機(jī)械工程與應(yīng)用電子技術(shù)學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51105011) 北京市教育委員會(huì)科技計(jì)劃項(xiàng)目(KM201210005015)
【分類號(hào)】：TH703

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2 范士\，

本文編號(hào)：2304162