本文關(guān)鍵詞：硅微諧振式加速度計(jì)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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碩士論文硅微諧振式加速度計(jì)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)研究摘要硅微諧振式加速度計(jì)是一種新型的加速度計(jì),其輸出信號(hào)為頻率信號(hào),具有精度高和抗干擾能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),已成為微傳感器的重要發(fā)展方向之一。本論文由硅微諧振式加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)展開,研究的主要內(nèi)容包括:1)DETF諧振器的設(shè)計(jì)與分析主要包括對(duì)DETF諧振器的理論推導(dǎo)與仿真分析。理論部分包括:建立了諧振梁的固有頻率、有軸向力作用時(shí)的諧振頻率以及諧振梁的非線性振動(dòng)的理論模型,并采用FEA進(jìn)行了理論模型的仿真驗(yàn)證。對(duì)電學(xué)模型進(jìn)行了詳細(xì)分析,論述了其驅(qū)動(dòng)檢測(cè)方式,并推導(dǎo)了其等效電學(xué)模型。仿真部分包括對(duì)DETF諧振器的模態(tài)分析和靜電驅(qū)動(dòng)仿真分析。2)微杠桿結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)與分析結(jié)合工藝條件分析、設(shè)計(jì)并優(yōu)化了微杠桿結(jié)構(gòu)。論文中采用的微杠桿結(jié)構(gòu)主要包括支點(diǎn)、輸入端、杠桿、輸出端和杠桿與諧振器的連接部分。根據(jù)力平衡和力矩平衡原理推導(dǎo)了微杠桿的放大倍數(shù),并對(duì)其進(jìn)行了理論分析。通過仿真驗(yàn)證微杠桿結(jié)構(gòu)的各個(gè)組成部分對(duì)放大倍數(shù)的影響,實(shí)現(xiàn)對(duì)微杠桿結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)。3)整體結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)與仿真驗(yàn)證結(jié)合性能指標(biāo)和加工工藝邊界條件對(duì)硅微諧振式加速度計(jì)整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì)。針對(duì)加速度計(jì)的核心指標(biāo)進(jìn)行分析,主要包括標(biāo)度因數(shù)、線性度... 內(nèi)容來自轉(zhuǎn)載請(qǐng)標(biāo)明出處.

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