本文關(guān)鍵詞：硅微諧振式加速度計結(jié)構(gòu)設計技術(shù)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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碩士論文硅微諧振式加速度計結(jié)構(gòu)設計技術(shù)研究摘要硅微諧振式加速度計是一種新型的加速度計,其輸出信號為頻率信號,具有精度高和抗干擾能力強等優(yōu)點,已成為微傳感器的重要發(fā)展方向之一。本論文由硅微諧振式加速度計的結(jié)構(gòu)設計技術(shù)展開,研究的主要內(nèi)容包括:1)DETF諧振器的設計與分析主要包括對DETF諧振器的理論推導與仿真分析。理論部分包括:建立了諧振梁的固有頻率、有軸向力作用時的諧振頻率以及諧振梁的非線性振動的理論模型,并采用FEA進行了理論模型的仿真驗證。對電學模型進行了詳細分析,論述了其驅(qū)動檢測方式,并推導了其等效電學模型。仿真部分包括對DETF諧振器的模態(tài)分析和靜電驅(qū)動仿真分析。2)微杠桿結(jié)構(gòu)的設計與分析結(jié)合工藝條件分析、設計并優(yōu)化了微杠桿結(jié)構(gòu)。論文中采用的微杠桿結(jié)構(gòu)主要包括支點、輸入端、杠桿、輸出端和杠桿與諧振器的連接部分。根據(jù)力平衡和力矩平衡原理推導了微杠桿的放大倍數(shù),并對其進行了理論分析。通過仿真驗證微杠桿結(jié)構(gòu)的各個組成部分對放大倍數(shù)的影響,實現(xiàn)對微杠桿結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設計。3)整體結(jié)構(gòu)的設計與仿真驗證結(jié)合性能指標和加工工藝邊界條件對硅微諧振式加速度計整體結(jié)構(gòu)進行設計。針對加速度計的核心指標進行分析,主要包括標度因數(shù)、線性度... 內(nèi)容來自轉(zhuǎn)載請標明出處.

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