本文關鍵詞：電容式微機械靜電伺服加速度計系統(tǒng)分析，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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電子科技大學碩士學位論文電容式微機械靜電伺服加速度計系統(tǒng)分析姓名:陳宇曉申請學位級別:碩士專業(yè):電路與系統(tǒng)指導教師:劉昌孝2002.12.11電子科技大學碩士論文摘要l現(xiàn)代慣性加速度計的發(fā)展方向是微小型化和集成化,而MEMS技術提供了這樣一種可能礦戰(zhàn)略慣導加速度計實用化的首要條件是大量程(709以上)和高穩(wěn)定性,本文針對一種最基本、最為典型和工藝上較易實現(xiàn)的“三明治”結構,從靜態(tài)和動態(tài)兩方面對電容式微機械靜電伺服加速度計系統(tǒng)進行了詳細分析。主要包括:敏感質量偏心距、橫向加速度干擾和外加偏壓對傳感器穩(wěn)定性的影響,給出穩(wěn)定和參數(shù)受限條件下最大量程的求解以及提高量程的方法,研究如何補償伺服系統(tǒng)動態(tài)性能,以及不同輸入條件下系統(tǒng)響應的分析。本文根據(jù)已有的加速度計模型,導出了慣性傳感器中敏感質量塊的各個運動方程,通過數(shù)學解析的方法,分析了各參數(shù)對量程和穩(wěn)定性的影響以及它們內在的關系,指出關鍵參數(shù)是敏感質量和臨界偏壓;根據(jù)二階系統(tǒng)分析方法研究加速度計閉環(huán)伺服系統(tǒng)的動態(tài)響應和調整動態(tài)參數(shù)的手段,最后利用系統(tǒng)仿真工具MATLAB給出形象圖解和驗證。閉環(huán)伺服原理保證了微慣性加速度計具有較大量程,以及閉環(huán)系統(tǒng)的一系列變換環(huán)節(jié)可近似為線性關系。由于采取... 內容來自轉載請標明出處.

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