本文關(guān)鍵詞：電容式微機(jī)械靜電伺服加速度計(jì)系統(tǒng)分析，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

文檔介紹：
電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文電容式微機(jī)械靜電伺服加速度計(jì)系統(tǒng)分析姓名:陳宇曉申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):電路與系統(tǒng)指導(dǎo)教師:劉昌孝2002.12.11電子科技大學(xué)碩士論文摘要l現(xiàn)代慣性加速度計(jì)的發(fā)展方向是微小型化和集成化,而MEMS技術(shù)提供了這樣一種可能礦戰(zhàn)略慣導(dǎo)加速度計(jì)實(shí)用化的首要條件是大量程(709以上)和高穩(wěn)定性,本文針對(duì)一種最基本、最為典型和工藝上較易實(shí)現(xiàn)的“三明治”結(jié)構(gòu),從靜態(tài)和動(dòng)態(tài)兩方面對(duì)電容式微機(jī)械靜電伺服加速度計(jì)系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)分析。主要包括:敏感質(zhì)量偏心距、橫向加速度干擾和外加偏壓對(duì)傳感器穩(wěn)定性的影響,給出穩(wěn)定和參數(shù)受限條件下最大量程的求解以及提高量程的方法,研究如何補(bǔ)償伺服系統(tǒng)動(dòng)態(tài)性能,以及不同輸入條件下系統(tǒng)響應(yīng)的分析。本文根據(jù)已有的加速度計(jì)模型,導(dǎo)出了慣性傳感器中敏感質(zhì)量塊的各個(gè)運(yùn)動(dòng)方程,通過(guò)數(shù)學(xué)解析的方法,分析了各參數(shù)對(duì)量程和穩(wěn)定性的影響以及它們內(nèi)在的關(guān)系,指出關(guān)鍵參數(shù)是敏感質(zhì)量和臨界偏壓;根據(jù)二階系統(tǒng)分析方法研究加速度計(jì)閉環(huán)伺服系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)和調(diào)整動(dòng)態(tài)參數(shù)的手段,最后利用系統(tǒng)仿真工具M(jìn)ATLAB給出形象圖解和驗(yàn)證。閉環(huán)伺服原理保證了微慣性加速度計(jì)具有較大量程,以及閉環(huán)系統(tǒng)的一系列變換環(huán)節(jié)可近似為線性關(guān)系。由于采取... 內(nèi)容來(lái)自轉(zhuǎn)載請(qǐng)標(biāo)明出處.

  本文關(guān)鍵詞：電容式微機(jī)械靜電伺服加速度計(jì)系統(tǒng)分析，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。