【摘要】：近年來,大口徑、大非球面度、快焦比、高次非球面光學(xué)元件在天文光學(xué)、空間光學(xué)和地基空間目標(biāo)探測與識別等領(lǐng)域得到了越來越廣泛的應(yīng)用。目前對此類光學(xué)元件的檢測一般采用零位補(bǔ)償法或消回程誤差的非零位檢測法。其中消回程誤差的非零位補(bǔ)償法處理過程復(fù)雜,缺乏檢測直觀性,且測量精度無法保證,故在針對一些面形精度要求非常高的鏡面時(shí)并不適用。以口徑為1020mm、焦比為1/0.5、非球面度為1.8mm、高次項(xiàng)達(dá)6次的凹高次非球面反射鏡檢測為研究基礎(chǔ),提出了分階段設(shè)計(jì)零位補(bǔ)償檢驗(yàn)光路的新思路,以滿足此類鏡面在粗拋、精拋、干涉儀檢測等不同研制與檢驗(yàn)階段的需求。最終檢測面形精度達(dá)到了λ/50。
[Abstract]:In recent years, large aperture, large asphericity, fast focal ratio and high order aspheric optical elements have been more and more widely used in astronomical optics, space optics and ground space target detection and recognition. At present, this kind of optical element is usually detected by zero position compensation method or non zero position detection method which eliminates return range error. The non-zero compensation method for eliminating the return error is complex in processing, lack of intuitive detection, and the measurement accuracy can not be guaranteed, so it is not suitable for some specular surfaces with very high accuracy. Based on the study of concave and high order aspherical mirror with a aperture of 1020mm, a focal ratio of 1 / 0.5, an aspherical degree of 1.8 mm, and 6 times of high order, a new idea of phase design of zero-position compensation testing optical path is proposed to meet the needs of this kind of mirror in rough throwing and fine throwing. Interferometer detection and other different stages of development and testing requirements. Finally, the precision of the surface shape is up to 位 / 50.
【作者單位】： 中國科學(xué)院國家天文臺南京天文光學(xué)技術(shù)研究所;中國科學(xué)院天文光學(xué)技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家自然科學(xué)基金(11203049)
【分類號】：TH74

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本文編號：2121016