本文選題：微機(jī)械加速度計 + 閉環(huán)加速度計　； 參考：《光學(xué)精密工程》2014年04期

【摘要】：針對某些高過載應(yīng)用場合對微機(jī)械加速度計抗沖擊能力的要求,設(shè)計了一種三軸向抗沖擊的梳齒電容式閉環(huán)微機(jī)械加速度計。通過分析帶止檔的閉環(huán)加速度計沖擊響應(yīng)過程,提出在敏感方向使用懸臂梳齒結(jié)構(gòu)作為柔性緩沖止檔可以緩沖沖擊過程中微結(jié)構(gòu)間的接觸碰撞;在非敏感方向采用結(jié)構(gòu)模態(tài)和阻尼分離的設(shè)計可減小沖擊變形,耗散沖擊能量。馬歇特錘沖擊實(shí)驗(yàn)表明,該加速度計能夠分別承受3個軸向幅值為13 200g,脈寬約102μs的的加速度沖擊,沖擊前后偏置漂移在5mV以內(nèi)。該閉環(huán)加速度計在±10g的非線性優(yōu)于500×10-6,1.5h偏置穩(wěn)定性為0.27mg。設(shè)計的樣機(jī)基本滿足高過載環(huán)境下慣性測量的要求。
[Abstract]:In view of the requirements for the impact resistance of the micromachined accelerometers in some high overload applications, a three axial anti impact comb capacitor closed loop micromachined accelerometer is designed. By analyzing the impact response process of a closed loop accelerometer with a stop gear, the cantilever comb structure is used as a flexible buffer stop in the sensitive direction. The contact impact between microstructures in the shock process is buffered, and the design of structural mode and damping separation in the non sensitive direction can reduce the impact deformation and dissipate the impact energy. The machite hammer impact test shows that the accelerometer can withstand the acceleration impact of 3 axial amplitude of 13 200g, the pulse width of about 102 mu, and the offset drift before and after the impact. It is moved within 5mV. The prototype of the closed loop accelerometer is better than 500 x 10-6,1.5h and is designed for 0.27mg. bias stability. The prototype can basically meet the requirement of inertial measurement under high overload environment.
【作者單位】： 清華大學(xué)精密儀器系;
【基金】：國家十二五預(yù)研基金資助項目(No.51309020301)
【分類號】：TH824.4

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級參考文獻(xiàn)】

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本文編號：2009970