本文選題：測(cè)量 + 光學(xué)測(cè)量��； 參考：《中國(guó)激光》2014年04期

【摘要】：提出了在非球面檢驗(yàn)中以反射鏡補(bǔ)償法線像差的方法,用于大口徑凸非球面透鏡的檢測(cè),克服了在檢測(cè)大口徑非球面透鏡時(shí)一般需要采用多片透鏡補(bǔ)償?shù)睦щy,降低了設(shè)計(jì)難度和裝調(diào)難度,節(jié)約了加工成本。設(shè)計(jì)并研制了大口徑凸非球面透鏡檢測(cè)系統(tǒng),對(duì)誤差來源進(jìn)行了分析并給出消除方法。對(duì)直徑Φ270mm的凸非球面透鏡進(jìn)行檢測(cè),測(cè)得的非球面面形誤差峰谷(PV)值與均方根(RMS)值分別為0.585λ和0.083λ。該方法為大口徑非球面透鏡檢測(cè)提供了技術(shù)參考,能夠適用于大口徑透鏡粗拋光階段中的面形檢測(cè)。
[Abstract]:In this paper, a method of compensating normal aberration with reflector in aspheric surface inspection is proposed, which is used to detect large aperture convex aspherical lens. It overcomes the difficulty of multi-lens compensation in detecting large aperture aspherical lens. The design difficulty and installation difficulty are reduced, and the processing cost is saved. A large aperture convex aspheric lens detection system is designed and developed. The error source is analyzed and the elimination method is given. The convex aspherical lens with diameter 桅 270mm is tested. The measured values of aspheric surface error peak and valley are 0.585 位 and 0.083 位, respectively, and the RMS values of RMS are 0.585 位 and 0.083 位, respectively. This method provides a technical reference for the detection of large aperture aspherical lens and can be applied to the detection of surface shape in rough polishing stage of large aperture lens.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所信息光學(xué)與光電技術(shù)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國(guó)家國(guó)際科技合作專項(xiàng)(2011DFR10010) 國(guó)家科技重大專項(xiàng)(2011ZX02402)
【分類號(hào)】：TH74

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2009652