發(fā)布時間：2018-06-08 17:16

  本文選題：測量 + 離焦補(bǔ)償��； 參考：《激光與光電子學(xué)進(jìn)展》2015年05期

【摘要】：基于立式Fizeau型干涉儀曲率半徑測量系統(tǒng),提出了一種簡捷的離焦補(bǔ)償算法,該算法對貓眼和共焦零位置的離焦量進(jìn)行補(bǔ)償,達(dá)到了提高曲率半徑測精度的目的。從理論的角度分析了待測面波前像差中的離焦量與待測面位置偏移量之間的線性關(guān)系,并得到了兩者之間變化的斜率。結(jié)果表明,貓眼和共焦零位置附近離焦量的大小與待測面位置偏移量之間為線性關(guān)系,且擬合直線的斜率與理論值相一致。同時,當(dāng)待測面在共焦位置存在離焦時,利用離焦補(bǔ)償算法使曲率半徑測量精度提高了一個數(shù)量級。
[Abstract]:Based on the curvature radius measurement system of vertical Fizeau interferometer, a simple defocusing compensation algorithm is proposed. The algorithm compensates the defocus of cat's eye and confocal zero position, and achieves the purpose of improving the accuracy of curvature radius measurement. The linear relationship between the defocus of the wavefront aberration and the position offset of the measured surface is analyzed from the theoretical point of view, and the slope of the variation between the two is obtained. The results show that there is a linear relationship between the size of the defocus near the cat's eye and the confocal zero and the displacement of the measured plane, and the slope of the fitting line is consistent with the theoretical value. At the same time, the accuracy of curvature radius measurement is improved by an order of magnitude when there is defocusing at the confocal position of the measured plane.
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點實驗室;
【基金】：國家科技重大專項(2009ZX02205)
【分類號】：O436;TH744.3

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級參考文獻(xiàn)】

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本文編號：1996573