本文選題：原子發(fā)射光譜儀 + 電感耦合等離子體��； 參考：《光學(xué)精密工程》2014年04期

【摘要】：受探測器發(fā)展水平的限制,以中階梯光柵光譜儀為分光模塊的ICP-AES電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜儀(ICPAES)難以實(shí)現(xiàn)寬波段內(nèi)多元素的同時(shí)測量。本文對現(xiàn)有中階梯光柵光譜儀進(jìn)行了改進(jìn),設(shè)計(jì)出一種適用于ICP-AES多元素同時(shí)測量的分波段式中階梯光柵光譜儀。通過改變棱鏡的入射角度,將系統(tǒng)波長擴(kuò)展為200~900nm,光譜分辨率為25 000,突破了現(xiàn)有探測器尺寸的限制,實(shí)現(xiàn)了寬波段范圍內(nèi)的多元素快速測量。將中階梯光柵光譜儀與固態(tài)ICP光源組合,進(jìn)行了系統(tǒng)波長標(biāo)定與化學(xué)試樣測試。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:波長測試誤差小于0.01nm,滿足化學(xué)元素精確判讀要求;分波段式中階梯光柵光譜儀在保持原有儀器性能的前提下,增寬了儀器的有效光譜探測范圍,為多元素的同時(shí)測量提供了有效手段。
[Abstract]:The ICP-AES inductively coupled plasma atomic emission spectrometer (ICP-AES), which is limited by the development level of the detector, is difficult to realize the simultaneous measurement of multiple elements in the wide band. In this paper, the existing middle step grating spectrometer is improved, and a split-band middle step grating spectrometer is designed, which is suitable for the simultaneous measurement of multielement in ICP-AES. By changing the incidence angle of the prism, the wavelength of the system is extended to 200 nm and the spectral resolution is 25 000, which breaks through the limitation of the existing detector size and realizes the fast measurement of multi-elements in the wide band range. The system wavelength calibration and chemical sample test were carried out by combining the medium step grating spectrometer with the solid state ICP light source. The experimental results show that the error of wavelength measurement is less than 0.01 nm, which meets the requirement of accurate interpretation of chemical elements, and the effective spectral detection range of the instrument is widened by using the split-band middle step grating spectrometer on the premise of maintaining the performance of the original instrument. It provides an effective method for simultaneous measurement of multiple elements.
【作者單位】： 長春光機(jī)醫(yī)療儀器有限公司;中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.61108032) 國家重大科研裝備研制資助項(xiàng)目(No.ZDYZ2008-1) 中國科學(xué)院重大科研裝備研制資助項(xiàng)目(No.YZ200804) 國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)資助項(xiàng)目(No.11YQ120023) 吉林省重大科技攻關(guān)項(xiàng)目(No.09ZDGG005)
【分類號(hào)】：TH744.1

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本文編號(hào)：1997259