本文選題：亞納米 + 光學(xué)表面��； 參考：《金屬加工(冷加工)》2017年03期

【摘要】：正超精密加工是以追求高精度為目標(biāo)的制造技術(shù),納米精度制造代表其發(fā)展前沿,以極大規(guī)模集成電路光刻制造、慣性約束聚變和高分對(duì)地觀測(cè)等為代表的國(guó)家重大工程迫切需要納米精度制造技術(shù)的支撐。論文面向國(guó)家重大需求和超精密加工發(fā)展前沿,開(kāi)展亞納米精度制造的基礎(chǔ)研究,尋求光學(xué)表面
[Abstract]:Ultra-precision machining is a manufacturing technology aiming at high precision. Nano-precision manufacturing represents the frontier of its development and is fabricated with a large scale integrated circuit lithography. Inertial confinement fusion (ICF) and high-score Earth observation (HES) are the most important projects in China, which urgently need the support of nano-precision manufacturing technology. In order to meet the important needs of the country and the development frontier of ultra-precision machining, this paper develops the basic research of subnanometer precision manufacturing and seeks optical surface.
【作者單位】： 國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);
【分類號(hào)】：TH74

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本文編號(hào)：1992457