本文選題：亞納米 + 光學(xué)表面　； 參考：《金屬加工(冷加工)》2017年03期

【摘要】：正超精密加工是以追求高精度為目標的制造技術(shù),納米精度制造代表其發(fā)展前沿,以極大規(guī)模集成電路光刻制造、慣性約束聚變和高分對地觀測等為代表的國家重大工程迫切需要納米精度制造技術(shù)的支撐。論文面向國家重大需求和超精密加工發(fā)展前沿,開展亞納米精度制造的基礎(chǔ)研究,尋求光學(xué)表面
[Abstract]:Ultra-precision machining is a manufacturing technology aiming at high precision. Nano-precision manufacturing represents the frontier of its development and is fabricated with a large scale integrated circuit lithography. Inertial confinement fusion (ICF) and high-score Earth observation (HES) are the most important projects in China, which urgently need the support of nano-precision manufacturing technology. In order to meet the important needs of the country and the development frontier of ultra-precision machining, this paper develops the basic research of subnanometer precision manufacturing and seeks optical surface.
【作者單位】： 國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);
【分類號】：TH74

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本文編號：1992457