本文選題：顯微CT標準器 + 光耦探測器　； 參考：《天津大學》2016年碩士論文

【摘要】：測量型CT系統(tǒng)作為一種新型的坐標測量技術在近年來逐步受到人們的認可,國內外的諸多科研機構對其也在持續(xù)進行相關的研究,并取得了一定成果。由于測量型CT系統(tǒng)多具有X射線源、機械運動系統(tǒng)、平板探測器、掃描數(shù)據(jù)重建模塊等多種組成部分,這就導致了其測量誤差來源極為復雜。顯微CT在平板探測器的基礎上,新增了光耦探測器單元,提高了CT系統(tǒng)的空間分辨力,同時擴大了CT系統(tǒng)的測量范圍,使其能夠對尺寸從微米量級到百微米量級的樣品進行幾何量測量。但由于其包含了閃爍體、顯微物鏡、管鏡及CCD等組件,結構相較于平板探測器更為復雜,使得測量誤差來源范圍進一步擴大。這使得其測量的準確性的提升以及測量不確定度的量值溯源變得尤為困難。本文針對顯微CT的計量特性制訂了一套校準方案,設計了可用于校準顯微CT探測形狀誤差及探測尺寸誤差的微球標準器以及可用于校準顯微CT探測形狀誤差及長度測量誤差的微型球板標準器和微型孔板標準器,使用微納坐標測量機、圓度儀與計量型掃描電子顯微鏡對其進行定值,然后用其對顯微CT的幾何量測量誤差進行校準,并對校準結果進行了初步的不確定度來源分析及合成標準不確定度的計算。最后,對使用新的材料、新的方法在微觀領域研制更新型的微型標準器的工作進行了合理展望。
[Abstract]:As a new type of coordinate measurement technology, measuring CT system has been gradually recognized by people in recent years, and many scientific research institutions at home and abroad are continuing to study it, and have achieved certain results. The measuring CT system has many components, such as X-ray source, mechanical motion system, flat panel detector, scan data reconstruction module and so on, which makes the source of measurement error extremely complex. On the basis of flat panel detector, micro-CT has added photocoupling detector unit, which improves the spatial resolution of CT system and expands the measurement range of CT system. It enables geometric measurements of samples ranging in size from micron to 100 microns. However, because of its scintillator, micro objective lens, tube mirror and CCD components, the structure is more complex than the flat panel detector, which makes the source range of measurement error further expanded. This makes it difficult to improve the accuracy of measurement and trace the source of uncertainty. In this paper, a calibration scheme is developed for the metrological characteristics of microCT. The microsphere standardiser, which can be used to calibrate the shape error and dimension error of microCT detection, and the microsphere plate standardiser and micro-hole plate standardiser, which can be used to calibrate the shape error and length measurement error of microCT detection, are designed. The micro / nano coordinate measuring machine, roundness instrument and metrological scanning electron microscope are used to calibrate the geometric error of micro CT. The source analysis of the calibration results and the calculation of the synthetic standard uncertainty are carried out. Finally, the work of developing a new type of micro standard device in the micro field with new materials and new methods is prospected.
【學位授予單位】：天津大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2016
【分類號】：TH721

【相似文獻】

相關期刊論文 前10條

1 衛(wèi)睿華;;紫外、可見、近紅外分光光度計檢定中波長標準器選取應注意的問題[J];大眾標準化;2011年S1期

2 周秀銀;;標準器的系統(tǒng)誤差對檢定結果的影響[J];計量技術;1987年09期

3 陸洪偉;鈕定良;;高頻大電壓標準器[J];宇航計測技術;1992年05期

4 ;新的多功能標準器建立應用及評價[J];航空計算技術;1997年03期

5 魯柯;如何使用5700A多功能標準器(5)[J];現(xiàn)代儀器使用與維修;1997年03期

6 曹勝男;周建英;侯志園;;0.02級標準器檢定0.05級壓力計的可行性探討[J];計量與測試技術;2010年07期

7 魯柯;如何使用5700A多功能標準器(2)[J];現(xiàn)代儀器使用與維修;1996年06期

8 王樂仁;電容式工頻高壓比例標準器的原理與應用(續(xù)四)[J];高電壓技術;2002年04期

9 朱正德;國產坐標測量機的市場前瞻及對產品開發(fā)的幾點看法[J];航空精密制造技術;2000年01期

10 曹巖,趙汝嘉;坐標測量機快速原型虛擬逼真設計[J];機床與液壓;2000年05期

相關會議論文 前10條

1 黃慶成;劉得軍;車仁生;;虛擬坐標測量機[A];面向制造業(yè)的自動化與信息化技術創(chuàng)新設計的基礎技術——2001年中國機械工程學會年會暨第九屆全國特種加工學術年會論文集[C];2001年

2 吳飛;黃勁;盧紅;;基于虛擬測量技術的虛擬坐標測量機研究[A];人才、創(chuàng)新與老工業(yè)基地的振興——2004年中國機械工程學會年會論文集[C];2004年

3 于連棟;徐吉霞;程文濤;汪平平;;一種新穎非正交3D坐標測量機研究[A];2007'儀表，，自動化及先進集成技術大會論文集（二）[C];2007年

4 陳修龍;;高速空間并聯(lián)式坐標測量機非線性動力學分析與優(yōu)化[A];The 5th 全國動力學與控制青年學者研討會論文摘要集[C];2011年

5 劉得軍;牟海維;羅小川;車仁生;;并聯(lián)坐標測量機理論模型及其虛擬原型研究[A];中國儀器儀表學會第三屆青年學術會議論文集（下）[C];2001年

6 王琦;任亦鳴;王欣;;6σ管理技術在提高坐標測量機檢測效率上的應用[A];2007年度中國航空學會計量技術專業(yè)委員會計量與質量專題學術交流會論文集[C];2007年

7 鄭旭;;在坐標測量機上校準四方體的不確定度理論分析[A];湖北省2005年紀念《中華人民共和國計量法》頒布20周年獲獎論文集[C];2005年

8 出曉嵐;王磊;胡天林;黃元慶;;坐標測量機激光位移測頭的標定方法研究[A];2008中國儀器儀表與測控技術進展大會論文集（Ⅲ）[C];2008年

9 李維詩;;坐標測量機測頭系統(tǒng)的誤差檢測[A];第五屆全國幾何設計與計算學術會議論文集[C];2011年

10 代小林;叢大成;韓俊偉;李洪人;;基于光學坐標測量機的STEWART機構標定研究[A];慶祝中國力學學會成立50周年暨中國力學學會學術大會’2007論文摘要集（上）[C];2007年

相關重要報紙文章 前1條

1 通訊員 陳譽超;六三五四所開發(fā)出新型坐標測量機[N];中國船舶報;2007年

相關博士學位論文 前7條

1 方海燕;非正交系非接觸坐標測量機關鍵技術研究[D];西安理工大學;2005年

2 鄭大騰;柔性坐標測量機空間誤差模型及最佳測量區(qū)研究[D];合肥工業(yè)大學;2010年

3 胡毅;關節(jié)式坐標測量機熱變形誤差建模及修正研究[D];合肥工業(yè)大學;2011年

4 楊洪濤;坐標測量機誤差建模與修正技術研究[D];合肥工業(yè)大學;2007年

5 程文濤;關節(jié)式坐標測量機標定技術研究[D];合肥工業(yè)大學;2011年

6 陳誠;θFXZ型坐標測量機結構分析與驅動系統(tǒng)熱誤差模型的研究[D];天津大學;2010年

7 高貫斌;關節(jié)臂式坐標測量機自標定方法與誤差補償研究[D];浙江大學;2010年

相關碩士學位論文 前10條

1 陳思文;測量型顯微CT系統(tǒng)的定值方法[D];天津大學;2016年

2 唐大林;光學坐標測量機原理研究及系統(tǒng)設計[D];天津大學;2006年

3 王世營;并聯(lián)坐標測量機測量建模及虛擬樣機設計[D];大慶石油學院;2007年

4 王春花;柔性坐標測量機的設計和研制[D];合肥工業(yè)大學;2007年

5 萬侃然;關節(jié)式坐標測量機圓編碼器誤差與空間誤差研究[D];合肥工業(yè)大學;2015年

6 張淑敏;動車組轉向架用關節(jié)式坐標測量機研究[D];西南交通大學;2016年

7 張懷山;關節(jié)式坐標測量機運動學參數(shù)辨識[D];昆明理工大學;2016年

8 黃平安;3-PUU并聯(lián)坐標測量機控制系統(tǒng)研究[D];合肥工業(yè)大學;2016年

9 魯思穎;平行雙關節(jié)坐標測量機桿件變形測量技術研究[D];合肥工業(yè)大學;2016年

10 馬曉慶;3-PUU并聯(lián)坐標測量機中滑塊運動誤差分析[D];合肥工業(yè)大學;2016年

本文編號：1984490