本文選題：共焦測(cè)量 + 分光器件�。� 參考：《光學(xué)精密工程》2015年05期

【摘要】：雖然采用并行共焦測(cè)量提升了共焦測(cè)量速度,但系統(tǒng)中的傳統(tǒng)光分束器件參數(shù)固化后難以適應(yīng)不同的被測(cè)對(duì)象。本文利用數(shù)字微鏡器件(Digital Micromirror Device,DMD)可產(chǎn)生柔性化結(jié)構(gòu)光的特點(diǎn),將其作為光分束器件引入共焦測(cè)量裝置以提升系統(tǒng)對(duì)被測(cè)對(duì)象的適應(yīng)性。理論分析了DMD的空間調(diào)制方法,搭建了DMD的共焦測(cè)量裝置,研究了DMD結(jié)構(gòu)光參數(shù)對(duì)共焦測(cè)量軸向分辨率、橫向分辨率以及圖像對(duì)比度等指標(biāo)的影響。實(shí)驗(yàn)表明,在光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)匹配的條件下,結(jié)構(gòu)光光點(diǎn)參數(shù)越小,測(cè)量分辨率越高。同時(shí),利用DMD進(jìn)行柔性化照明,改善了因光點(diǎn)參數(shù)小造成的圖像對(duì)比度下降的問(wèn)題。得到的結(jié)果為研究基于DMD的跨尺度測(cè)量方法提供了研究基礎(chǔ)。
[Abstract]:Although the speed of confocal measurement is improved by using parallel confocal measurement, it is difficult to adapt the parameters of the traditional beam splitter to different measured objects after curing. In this paper, the flexible structured light can be produced by the digital micromirror device Digital Micromirror device, which is introduced into the confocal measuring device as a beam splitter to enhance the adaptability of the system to the object under test. The spatial modulation method of DMD is analyzed theoretically and the confocal measurement device of DMD is built. The influence of structural light parameters of DMD on axial resolution lateral resolution and image contrast of confocal measurement is studied. The experimental results show that the smaller the structure light point parameter, the higher the measurement resolution under the condition of optical system parameter matching. At the same time, the DMD is used for flexible illumination, which improves the problem of image contrast decline caused by the small parameters of the spot. The obtained results provide a basis for the study of cross-scale measurement methods based on DMD.
【作者單位】： 華僑大學(xué)機(jī)電及自動(dòng)化學(xué)院;上海理工大學(xué)光學(xué)工程博士后流動(dòng)站;
【基金】：福建省自然科學(xué)基金青年創(chuàng)新基金資助項(xiàng)目(No.2013J05078) 華僑大學(xué)高層次人才科研啟動(dòng)基金資助項(xiàng)目(No.12BS109)
【分類號(hào)】：TH74

【參考文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1899348