本文選題：顯微視覺 + 雙頻激光干涉儀��； 參考：《應(yīng)用光學(xué)》2015年02期

【摘要】：為了對光纖陣列測量的高精度顯微模板進行精密檢測,采用雙頻激光干涉儀結(jié)合顯微視覺系統(tǒng),通過骨架化、腐蝕法、質(zhì)心法等算法對顯微圖像進行計算處理,實現(xiàn)模板特征刻線的提取與精確定位。對模板上8條刻度線之間的間距分別進行重復(fù)測量和組合測量,實驗結(jié)果表明重復(fù)測量的標準偏差不大于0.07μm,組合測量的標準偏差不大于0.04μm。介紹了測量系統(tǒng)構(gòu)成與工作原理,并對測量過程進行了精度分析,分析結(jié)果表明測量過程的極限誤差不大于0.10μm。
[Abstract]:In order to detect the high precision microtemplate of optical fiber array measurement, a dual-frequency laser interferometer combined with a microscopic vision system was used to calculate and process the microscopic image by the algorithms of skeleton, corrosion and centroid. The template feature line extraction and accurate location are realized. The distance between 8 scales on the template was measured repeatedly and combined. The experimental results show that the standard deviation of repeated measurement is not more than 0.07 渭 m, and the standard deviation of combined measurement is not more than 0.04 渭 m. The structure and working principle of the measurement system are introduced, and the accuracy of the measurement process is analyzed. The results show that the limit error of the measurement process is less than 0.10 渭 m.
【作者單位】： 北京信息科技大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院;
【基金】：北京市優(yōu)秀人才培養(yǎng)資助(2013D005007000007) 北京市屬高等學(xué)校青年拔尖人才培育計劃項目(CIT&TCD201404124)
【分類號】：TH744.5

【參考文獻】

相關(guān)期刊論文 前9條

1 王兵振;劉文耀;;一種顯微圖像測量系統(tǒng)的標定方法[J];光電工程;2006年02期

2 梁靜秋;侯鳳杰;;采用硅V型槽的一維光纖陣列的研制[J];光學(xué)精密工程;2007年01期

3 李君蘭;張大衛(wèi);王以忠;趙興玉;孔凡芝;;面向IC封裝的顯微視覺定位系統(tǒng)[J];光學(xué)精密工程;2010年04期

4 董建軍;劉忠禮;繆文勇;于燕寧;曹磊峰;鄭志堅;胡家升;高清峰;劉伯祥;;KBA顯微鏡成像系統(tǒng)的成像模擬及X光成像實驗的研究[J];光學(xué)學(xué)報;2006年08期

5 胡浩;梁晉;唐正宗;任茂棟;李磊剛;;顯微立體視覺小尺度測量系統(tǒng)的標定[J];光學(xué)精密工程;2014年08期

6 陳立國;朱吉鋒;王明月;;光纖陣列中纖芯間距的檢測系統(tǒng)[J];紅外與激光工程;2011年04期

7 葛寶臻;李曉潔;邱實;;基于共面點直接線性變換的攝像機畸變校正[J];中國激光;2010年02期

8 李敏;蔣建春;;基于腐蝕算法的圖像邊緣檢測的研究與實現(xiàn)[J];計算機應(yīng)用與軟件;2009年01期

9 王潤蘭;陳青山;;基于顯微視覺的光纖陣列精密測量研究[J];激光與紅外;2014年03期

【共引文獻】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 周游;劉艷瀅;王春民;陳靜;陳秋萍;魏雅娟;;幾種人體運動檢測算法的比較分析[J];吉林大學(xué)學(xué)報(信息科學(xué)版);2009年06期

2 張超;段發(fā)階;董宇青;陳偉;王凱;;自動編程器視覺定位算法研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2011年03期

3 郭鵬;梁靜秋;朱艷青;侯鳳杰;姚勁松;梁中翥;王淑榮;;光纖圖像分割器的透過率分析與測試[J];光電子技術(shù);2008年02期

4 李響;梁中翥;郭鵬;侯鳳杰;姚勁松;梁靜秋;;光纖傳像束研究進展[J];光機電信息;2009年07期

5 李桂菊;王延杰;;光學(xué)系統(tǒng)中的光纖傳像束[J];光機電信息;2010年12期

6 曾毅波;王凌云;谷丹丹;孫道恒;;超聲技術(shù)在硅濕法腐蝕中的應(yīng)用[J];光學(xué)精密工程;2009年01期

7 趙清亮;郭兵;楊輝;王義龍;;金剛石飛切加工微結(jié)構(gòu)表面的工藝參數(shù)優(yōu)化[J];光學(xué)精密工程;2009年10期

8 郭旭東;嚴榮國;顏國正;;膠囊內(nèi)窺鏡無線遙測定位的校正[J];光學(xué)精密工程;2010年12期

9 胡昕;劉慎業(yè);丁永坤;楊勤勞;田進壽;何小安;;神光Ⅲ主機X射線條紋相機設(shè)計[J];光學(xué)學(xué)報;2009年10期

10 梁靜秋;;高精度光纖變維器的制作及測試研究[J];光學(xué)學(xué)報;2010年12期

相關(guān)博士學(xué)位論文 前8條

1 吳俊芳;小尺寸視覺二維精密檢測理論與方法[D];華南理工大學(xué);2011年

2 李波;正交圖像矩及其在精確定位與產(chǎn)品檢測中的應(yīng)用研究[D];華中科技大學(xué);2012年

3 仲志成;集成8通道聚合物分散液晶可變光衰減器陣列關(guān)鍵技術(shù)的研究[D];吉林大學(xué);2008年

4 李君蘭;面向芯片封裝的機器視覺精密定位系統(tǒng)的研究[D];天津大學(xué);2010年

5 孫曉明;基于結(jié)構(gòu)光的公路路面裂縫檢測關(guān)鍵技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2012年

6 曾巒;基于不變特征的圖像拼接及軟同步直寫硬盤記錄技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2012年

7 王春艷;激光測量中光條關(guān)鍵技術(shù)研究[D];吉林大學(xué);2014年

8 常麗;莫爾條紋納米級細分關(guān)鍵技術(shù)研究[D];沈陽工業(yè)大學(xué);2013年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 邵泉鋼;弱透光環(huán)境下微構(gòu)件機器視覺檢測關(guān)鍵技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2011年

2 周洋;圖像式刀調(diào)儀視覺檢測技術(shù)研究[D];江南大學(xué);2011年

3 孫婉婷;金剛石飛切最小切削厚度預(yù)測的研究[D];吉林大學(xué);2011年

4 盧s，

本文編號：1865872