本文選題：測角 + 柱面光柵　； 參考：《紅外與激光工程》2015年07期

【摘要】：高精度角度測量裝置是保證旋轉(zhuǎn)設(shè)備精度和性能的關(guān)鍵,廣泛應(yīng)用于測量跟蹤儀器中,特別是對于大尺寸坐標(biāo)測量儀器,測角相比于測距是制約坐標(biāo)測量精度的瓶頸。在精密一維軸系平臺(tái)上,采用高精度柱面光柵及四個(gè)讀數(shù)頭構(gòu)建測角裝置,對傳感器本身、安裝及軸系跳動(dòng)等誤差因素對測角精度的影響進(jìn)行了詳細(xì)分析�；诮嵌葴y量標(biāo)準(zhǔn)器具校準(zhǔn)角度測量誤差,對誤差數(shù)據(jù)進(jìn)行諧波分析。基于遺傳算法提出了一種參數(shù)優(yōu)化方法,建立誤差補(bǔ)償模型,對測角誤差進(jìn)行了補(bǔ)償。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,補(bǔ)償后柱面光柵測角誤差減少為±0.7″,證明了誤差補(bǔ)償算法的有效性,顯著地提高了角度測量精度。
[Abstract]:High precision angle measuring device is the key to ensure the precision and performance of rotating equipment. It is widely used in measuring and tracking instruments, especially for large size coordinate measuring instruments. Compared with ranging, angle measurement is the bottleneck of coordinate measurement accuracy. In this paper, a high precision cylindrical grating and four readout heads are used to construct the angle measuring device on the precision one dimensional shafting platform. The influence of the sensor itself, the installation and the runout of the shafting on the angle measuring accuracy is analyzed in detail. Based on the calibration error of the standard instrument for angle measurement, harmonic analysis of the error data is carried out. A parameter optimization method based on genetic algorithm is proposed, and the error compensation model is established to compensate the angle measurement error. The experimental results show that the angular error of cylindrical grating is reduced to 鹵0.7 "after compensation, which proves the effectiveness of the error compensation algorithm and improves the accuracy of angle measurement significantly.
【作者單位】： 中國科學(xué)院光電研究院;合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)資金青年項(xiàng)目(61307095) 國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)(2011YQ12002)
【分類號(hào)】：TH721;TP18

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1865649