本文選題：光學(xué)制造 + 大口徑�。� 參考：《中國(guó)激光》2014年06期

【摘要】：為了實(shí)現(xiàn)大口徑凸面反射鏡檢測(cè),研究了大口徑標(biāo)準(zhǔn)鏡組的設(shè)計(jì)與研制技術(shù)。針對(duì)口徑Φ為350mm、焦距為4400mm的標(biāo)準(zhǔn)球面鏡組,完成了標(biāo)準(zhǔn)鏡頭設(shè)計(jì)分析、面形和曲率半徑誤差標(biāo)定以及系統(tǒng)集成與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。光學(xué)設(shè)計(jì)軟件模擬分析結(jié)果表明鏡頭設(shè)計(jì)波像差達(dá)到0.0001λ[峰谷值(PV),λ=632.8nm],該標(biāo)準(zhǔn)鏡頭參考球面標(biāo)準(zhǔn)鏡面形加工精度達(dá)到0.088λ(PV,λ=632.8nm)、0.006λ[均方根(RMS),λ=632.8nm],某項(xiàng)目Φ為320mm、R為4092mm的碳化硅凸面反射鏡最終加工檢測(cè)結(jié)果達(dá)到0.102λ(PV,λ=632.8nm)、0.011λ(RMS,λ=632.8nm)。結(jié)果表明采用該大口徑標(biāo)準(zhǔn)球面波透鏡組為大口徑長(zhǎng)曲率半徑凸面反射鏡提供了一種高精度檢測(cè)的手段,解決了大口徑長(zhǎng)曲率半徑凸面反射鏡檢測(cè)難題,采用該標(biāo)準(zhǔn)球面鏡結(jié)合基于數(shù)字樣板的非零位檢測(cè)方法也可完成淺度非球面或自由曲面面形實(shí)時(shí)高精度檢測(cè)。
[Abstract]:In order to realize the detection of large - caliber convex mirror , the design and development technology of large aperture standard mirror group is studied . The standard lens design analysis , surface shape and curvature radius error calibration and system integration and experimental verification are completed aiming at the standard spherical lens group with the diameter of 350mm and the focal length of 4400 mm . The results of simulation and analysis of optical design software show that the lens design wave aberration reaches 0.088 位 ( PV , 位 = 632.8 nm ) , 0 . 006 位 RMS root mean square root ( RMS ) , 位 = 632.8 nm , and the final machining detection result reaches 0.102 位 ( PV , 位 = 632.8 nm ) , and 0 . 011 位 ( RMS , 位 = 632.8 nm ) . The results show that the large - caliber spherical surface wave lens group provides a high - precision detection method for the large - caliber long - curvature radius convex mirror , and solves the problem that the large - caliber long - curvature radius convex mirror detection problem is solved , and the non - zero - position detection method based on the digital template can also finish the real - time high - precision detection of the shallow aspheric surface or the free surface shape by using the standard spherical mirror .

【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所中國(guó)科學(xué)院光學(xué)系統(tǒng)先進(jìn)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家973計(jì)劃(2011CB013205) 國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目(61210015)
【分類號(hào)】：TH74

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1860095