本文選題：平面光學(xué)元件 + 磁流變加工　； 參考：《光學(xué)精密工程》2016年12期

【摘要】：為了實現(xiàn)大口徑平面光學(xué)元件的高精度加工,開展了磁流變加工技術(shù)的研究。介紹了磁流變加工原理及去除函數(shù)的數(shù)學(xué)模型。根據(jù)磁流變加工的特點,建立了元件整體加工的工藝流程,給出了元件加工的工藝要素。然后,開發(fā)了拋光斑的提取軟件,并基于軌跡段劃分的速度模式開發(fā)了工藝軟件,分析了工藝軟件的各項功能模塊。最后,基于元件加工的工藝流程,對一件800mm×400mm的元件進行了加工實驗。利用檢測設(shè)備測得了元件的低、中、高頻的加工指標(biāo),其低頻反射波前PV值為34nm,中頻波前功率譜密度(PSD1)值為1.7nm,高頻粗糙度Rq值為0.27nm。實驗顯示了較好的實驗結(jié)果,驗證了利用磁流變加工技術(shù)實現(xiàn)了大口徑光學(xué)元件的高精度加工的可行性。本文還闡述了磁流變加工技術(shù)在高功率激光元件中應(yīng)用的優(yōu)點。
[Abstract]:In order to realize high precision machining of large aperture planar optical elements, the magneto-rheological machining technology was studied. The principle of magneto-rheological machining and the mathematical model of removal function are introduced. According to the characteristics of Magnetorheological Machining (MRF), the process flow of integral element processing is established, and the process elements of element processing are given. Then, the software of polishing spot extraction is developed, and the process software is developed based on the velocity mode of trajectory division. The function modules of the process software are analyzed. Finally, based on the technological process of element processing, the processing experiment of a component of 800mm 脳 400mm is carried out. The low, middle and high frequency machining indexes of the components are measured by using the measuring equipment. The PV value of the low frequency reflected wave front is 34 nm, the power spectral density (PSD 1) of the if wave front is 1.7 nm, and the high frequency roughness RQ value is 0.27 nm. The experiment shows good experimental results and verifies the feasibility of high precision machining of large aperture optical elements by magneto-rheological machining technology. The advantages of magnetorheological processing technology in high power laser components are also described in this paper.
【作者單位】： 哈爾濱工業(yè)大學(xué);中國工程物理研究院激光聚變研究中心;
【基金】：科學(xué)挑戰(zhàn)專題資金資助項目(No.JCKY2016212A506-0502)
【分類號】：TH74

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