本文選題：MEMS + 加速度計(jì)　； 參考：《傳感技術(shù)學(xué)報(bào)》2015年01期

【摘要】：為降低環(huán)境溫度對(duì)加速度計(jì)測(cè)量輸出的影響,本文提出了一種新的加速度計(jì)溫度補(bǔ)償方法,即三維擬合曲面和計(jì)算的補(bǔ)償方法。本文詳細(xì)介紹了該溫度補(bǔ)償方法的具體原理和實(shí)現(xiàn)方法,并用實(shí)驗(yàn)進(jìn)行了驗(yàn)證,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明加速度計(jì)最大零位漂移由溫度補(bǔ)償前的500 m V縮小為溫度補(bǔ)償后的50 m V,即溫漂縮小了一個(gè)數(shù)量級(jí),補(bǔ)償效果明顯。
[Abstract]:In order to reduce the influence of ambient temperature on the measurement output of accelerometer, a new method of temperature compensation for accelerometer is proposed in this paper, which is the compensation method of 3D fitting surface and calculation. In this paper, the principle and implementation of the temperature compensation method are introduced in detail, and verified by experiments. The experimental results show that the maximum zero drift of accelerometer is reduced from 500 MV before temperature compensation to 50 MV after temperature compensation, that is, the temperature drift is reduced by an order of magnitude, and the compensation effect is obvious.
【作者單位】： 安徽建筑大學(xué)電子與信息工程學(xué)院;安徽大學(xué)電子信息工程學(xué)院;
【基金】：安徽省教育廳自然科學(xué)重點(diǎn)科研項(xiàng)目(KJ2013A071)
【分類號(hào)】：TN96;TH824.4

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 于治會(huì);關(guān)于加速度計(jì)參數(shù)的選定[J];航空兵器;2002年06期

2 馬欣龍,王永梁;梳齒式微機(jī)械力平衡加速度計(jì)[J];中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào);2002年03期

3 姜復(fù)興,任順清;加速度計(jì)指北技術(shù)研究[J];中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào);2002年05期

4 劉宗林,吳學(xué)忠,李圣怡;叉指式微硅加速度計(jì)的參數(shù)化設(shè)計(jì)[J];微納電子技術(shù);2003年Z1期

5 曾昭君,石進(jìn)杰;一種抗大過(guò)載微型加速度計(jì)研究[J];微納電子技術(shù);2003年Z1期

6 于治會(huì);關(guān)于加速度計(jì)參數(shù)的選定[J];電氣傳動(dòng)自動(dòng)化;2003年03期

7 侯美麗,楊建輝,第五興樂(lè);確認(rèn)姿態(tài)的雙向微型加速度計(jì)[J];中國(guó)測(cè)試技術(shù);2003年05期

8 蔣玉齊,程迎軍,許薇,張?chǎng)H,李昕欣,羅樂(lè);高量程MEMS加速度計(jì)封裝工藝研究[J];傳感器技術(shù);2005年02期

9 趙巖;翟百臣;武克用;陳濤;;加速度計(jì)在非陀螺尋北系統(tǒng)中的應(yīng)用研究[J];兵工學(xué)報(bào);2006年02期

10 趙立業(yè);周百令;;加速度計(jì)標(biāo)定中低成本數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)的設(shè)計(jì)[J];計(jì)量技術(shù);2006年04期

相關(guān)會(huì)議論文 前10條

1 曹慧丹;沈昱明;賴際舟;;微硅加速度計(jì)標(biāo)定及試驗(yàn)研究[A];第六屆全國(guó)信息獲取與處理學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（2）[C];2008年

2 索智群;喬?hào)|海;;力平衡模擬反饋電容加速度計(jì)的研究[A];2010’中國(guó)西部聲學(xué)學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2010年

3 劉惠蘭;林恒;李莉;張春熹;;光學(xué)加速度計(jì)的技術(shù)及發(fā)展[A];慣性技術(shù)發(fā)展動(dòng)能發(fā)展方向研討會(huì)論文集[C];2004年

4 劉惠蘭;林恒;李莉;張春熹;;光學(xué)加速度計(jì)的技術(shù)研究與發(fā)展[A];2004全國(guó)光學(xué)與光電子學(xué)學(xué)術(shù)研討會(huì)、2005全國(guó)光學(xué)與光電子學(xué)學(xué)術(shù)研討會(huì)、廣西光學(xué)學(xué)會(huì)成立20周年年會(huì)論文集[C];2005年

5 錢朋安;;一體化多維加速度計(jì)研究的若干問(wèn)題分析[A];中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)第九屆青年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2007年

6 宋長(zhǎng)福;嚴(yán)小軍;韓豐田;郭曉芳;馬高印;;硅微靜電懸浮加速度計(jì)關(guān)鍵技術(shù)研究[A];微機(jī)電慣性技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢(shì)——慣性技術(shù)發(fā)展動(dòng)態(tài)發(fā)展方向研討會(huì)文集[C];2011年

7 李建飛;薛兵;張俊峰;朱小毅;王曉蕾;;應(yīng)用于MEMS加速度計(jì)的小型恒溫系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)[A];中國(guó)地震學(xué)會(huì)第14次學(xué)術(shù)大會(huì)專題[C];2012年

8 周澤兵;祝竺;;靜電懸浮加速度計(jì)研究[A];中國(guó)地球物理2013——第二十六專題論文集[C];2013年

9 薛旭;李丹東;劉國(guó)文;萬(wàn)蔡辛;張承亮;;MEMS加速度計(jì)工程樣機(jī)的研制[A];慣性技術(shù)發(fā)展動(dòng)態(tài)發(fā)展方向研討會(huì)文集——新世紀(jì)慣性技術(shù)在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中的應(yīng)用[C];2012年

10 張亮;陸秋海;;靜電懸浮式電容差分加速度計(jì)測(cè)量原理與動(dòng)特性設(shè)計(jì)[A];第九屆全國(guó)振動(dòng)理論及應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2007年

相關(guān)重要報(bào)紙文章 前5條

1 包秋紅;加速度計(jì)測(cè)試的加速者[N];中國(guó)航空?qǐng)?bào);2004年

2 唐新培;“黑黢俠”再顯神威[N];中國(guó)航天報(bào);2012年

3 黃忠魁 付秀娟 本報(bào)記者 徐建華;“敏感精靈”助力嫦娥探月[N];中國(guó)質(zhì)量報(bào);2014年

4 唐新培;搬走“三座山” 促成“太空吻”[N];中國(guó)航天報(bào);2011年

5 北京弗歐弗奧信息咨詢有限公司 譚薇;MEMS傳感器大規(guī)模應(yīng)用指日可待[N];中國(guó)電子報(bào);2006年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前7條

1 蔣玉齊;高量程MEMS加速度計(jì)封裝研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所）;2004年

2 楊杰;無(wú)陀螺捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)加速度計(jì)構(gòu)型研究與誤差分析[D];哈爾濱工程大學(xué);2011年

3 張習(xí)文;微小型加速度計(jì)的精密裝配及影響性能的因素研究[D];大連理工大學(xué);2013年

4 劉志平;無(wú)陀螺捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)若干關(guān)鍵技術(shù)研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2010年

5 李博;基于共振隧穿結(jié)構(gòu)介觀壓阻效應(yīng)的納機(jī)電加速度計(jì)研究[D];中北大學(xué);2008年

6 劉力;慣性傳感器扭擺測(cè)試中地面振動(dòng)和放電金絲的影響研究[D];華中科技大學(xué);2012年

7 王世明;基于離心機(jī)的慣性儀表測(cè)試方法研究與誤差分析[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2014年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 胡紅革;硅撓性伺服加速度計(jì)設(shè)計(jì)[D];電子科技大學(xué);2002年

2 李園晴;懸絲支承加速度計(jì)溫度誤差建模及補(bǔ)償研究[D];上海交通大學(xué);2011年

3 王巍;高精度加速度計(jì)測(cè)量系統(tǒng)的分析與設(shè)計(jì)[D];哈爾濱工程大學(xué);2011年

4 游俠飛;MEMS加速度計(jì)溫度場(chǎng)及殘余應(yīng)力模型研究[D];浙江大學(xué);2012年

5 陸陽(yáng);高精度加速度計(jì)采集單元的設(shè)計(jì)及關(guān)鍵器件的研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2009年

6 席晉;加速度計(jì)數(shù)據(jù)采集與溫度補(bǔ)償技術(shù)研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2009年

7 解啟瞻;捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)中石英加速度計(jì)溫漂補(bǔ)償研究[D];重慶大學(xué);2009年

8 莊瑞芬;硅微諧振式加速度計(jì)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2009年

9 李發(fā)明;光學(xué)加速度計(jì)方案的初步研究[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2009年

10 韓小菊;聲表面波加速度計(jì)的溫度誤差及補(bǔ)償方法研究[D];西安科技大學(xué);2009年

，

本文編號(hào)：1786439