發(fā)布時間：2018-03-25 19:22

  本文選題：光學(xué)檢測　切入點(diǎn)：非球面　出處：《紅外與激光工程》2015年09期

【摘要】：為了無需定制補(bǔ)償透鏡或者計(jì)算全息等就能實(shí)現(xiàn)對非球面光學(xué)元件的檢測,提出了非零位補(bǔ)償測試非球面的方法。對非零位補(bǔ)償檢驗(yàn)非球面中的部分補(bǔ)償法、數(shù)字樣板法和子孔徑拼接法的基本原理和基礎(chǔ)理論分別進(jìn)行了分析和研究,建立了合理的數(shù)學(xué)模型,并對其具體的實(shí)現(xiàn)步驟和測試流程進(jìn)行了分析和規(guī)劃。結(jié)合工程實(shí)例,分別利用數(shù)字樣板法和子孔徑拼接法對一口徑為350 mm的淺度非球面進(jìn)行了面形檢測,兩種方法面形的PV值和RMS值的偏差分別為0.015λ和0.002λ(λ=632.8 nm),并設(shè)計(jì)和組建了部分補(bǔ)償檢驗(yàn)裝置對一高精度凸雙曲非球面反射鏡進(jìn)行了測量,其面形的PV值和RMS值分別為0.183λ和0.018λ。
[Abstract]:In order to realize the detection of aspheric optical elements without customizing compensation lens or CGH, a method of testing aspheric surface by nonzero compensation is proposed. The basic principle and basic theory of digital template method and sub-aperture splicing method are analyzed and studied respectively, a reasonable mathematical model is established, and its concrete realization steps and test flow are analyzed and planned. The surface shape of a shallow aspheric sphere with a diameter of 350 mm is tested by digital template method and subaperture splicing method, respectively. The deviations of PV value and RMS value of the two methods are 0.015 位 and 0.002 位 (位 ~ (63. 8) nm ~ (-1)) respectively. A high precision convex hyperbolic aspheric reflector is measured by partial compensation inspection device. The PV and RMS values of the two methods are 0.183 位 and 0.018 位, respectively.
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所 中國科學(xué)院光學(xué)系統(tǒng)先進(jìn)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家863基金(O8663NJ090) 國家973基金(2011CB0132005) 國家自然科學(xué)基金(61036015)
【分類號】：TH74

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：1664502