發(fā)布時間：2018-03-21 04:29

  本文選題：離子束修形　切入點：去除效率　出處：《納米技術(shù)與精密工程》2014年05期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：離子束修形(IBF)技術(shù)成為光學(xué)零件獲得超高面形必不可少的加工工藝.修形過程中采用光闌獲取小的束徑、穩(wěn)定的去除函數(shù)是獲得超高面形精度的前提.不同材料和工藝參數(shù)等不同條件下獲得的去除函數(shù)都不相同,每次修形前都要重新測量去除函數(shù).研究了不同入射能下、不同靶距下以及有無光闌時去除函數(shù)的變化.發(fā)現(xiàn)在離子光學(xué)系統(tǒng)幾何參數(shù)一定的條件下,離子束去除函數(shù)的效率變化與入射能量、離子體濃度引起的離子鞘形狀、束散角、溫度、靶距、凈加速電壓與總加速電壓之比的變化等因素都有關(guān).當(dāng)增大入射能量時,去除效率隨之增加,但當(dāng)入射能量大于一定值后就會出現(xiàn)隨著入射能量增加而去除效率降低的"拐點"現(xiàn)象.有無光闌只改變?nèi)コ实拇笮《粫淖?拐點"現(xiàn)象.因此不選用入射能量增大而去除效率減小的"拐點"之后的入射能量修形.
[Abstract]:Ion beam modification (IBF) technology has become an essential process for optical parts to obtain ultra-high profile. In the process of shape modification, the diaphragm is used to obtain small beam diameters. The stable removal function is the precondition to obtain the precision of ultra-high plane shape. The removal function obtained under different conditions, such as different material and process parameters, is different, and the removal function must be remeasured before each modification. It is found that under certain geometric parameters of ion optical system, the efficiency of ion beam removal function changes with incident energy, ion sheath shape and beam divergence angle caused by ion body concentration. Factors such as temperature, target distance, net acceleration voltage and the ratio of total acceleration voltage are all related. When the incident energy is increased, the removal efficiency increases. However, when the incident energy is greater than a certain value, the phenomenon of "inflection point" will occur when the incident energy increases and the removal efficiency decreases with the increase of the incident energy. With or without an aperture, the removal efficiency will only be changed, but not the "inflection point". Therefore, the phenomenon of "inflection point" will not be changed. The incident energy is modified after the "inflection point" of reduced efficiency is removed by increasing the incident energy.
【作者單位】： 國防科學(xué)技術(shù)大學(xué)機(jī)電工程與自動化學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目((91023042,51105370)
【分類號】：TH74

【參考文獻(xiàn)】

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【二級參考文獻(xiàn)】

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本文編號：1642261