本文選題：光學(xué)器件　切入點(diǎn)：微光學(xué)元件　出處：《中國激光》2014年03期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：提出一種制作凹形聚二甲基硅氧烷(PDMS)微透鏡陣列的方法。用數(shù)字微鏡器件(DMD)代替物理掩模,建立數(shù)字灰階無掩模光刻系統(tǒng),在光刻膠上制作正方形基底凸形微透鏡陣列,以此陣列為母板,采用復(fù)制方法,制作了高填充因子的正方形基底凹形PDMS微透鏡陣列。實(shí)驗(yàn)和測(cè)試結(jié)果表明:數(shù)字灰階無掩模光刻系統(tǒng)制作的微透鏡陣列表面光滑,形貌良好;復(fù)制的PDMS微透鏡陣列邊緣清晰,表面光滑,焦面光斑光強(qiáng)均勻。為制作凹形微透鏡陣列提供了一條制作簡(jiǎn)單、效率高、成本低、可大規(guī)模制作的新途徑。
[Abstract]:A method of fabricating concave polydimethylsiloxane (PDMS) microlens array is presented. Digital micromirror device (DMD) is used to replace the physical mask, and a digital gray scale mask lithography system is established, and a square substrate convex microlens array is fabricated on the photoresist. The PDMS microlens array with high filling factor was fabricated by using this array as the matrix. The experimental and test results show that the microlens array made by the digital gray scale mask lithography system has a smooth surface and good morphology. The duplicated PDMS microlens array has clear edge, smooth surface and uniform focal spot intensity. It provides a new way to fabricate concave microlens array with simple fabrication, high efficiency, low cost and large scale fabrication.
【作者單位】： 南京航空航天大學(xué)自動(dòng)化學(xué)院;南昌航空大學(xué)無損檢測(cè)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61261026) 航天科技創(chuàng)新基金(CASC201105)
【分類號(hào)】：TH74

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1636958