本文選題：PZT壓電陶瓷　切入點：干涉測量　出處：《壓電與聲光》2016年03期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：閉環(huán)壓電陶瓷(PZT)具有良好的線性特征,能實現(xiàn)納米級分辨率,在微位移過程中響應快,精度高,廣泛用于光學測量領域。在干涉測量中,利用PZT控制反射鏡的移動,引入可控相移,需要知道PZT的電壓相移特性。提出了基于干涉條紋圖樣的相關性測量PZT電壓相移特性的方法,利用CMOS數(shù)字攝像機采集干涉條紋圖樣,以零電壓對應的圖樣為基準圖,做歸一化相關系數(shù)運算,最后得到PZT電壓相移特性曲線,滿足了干涉測量相移可控的要求。
[Abstract]:Closed-loop piezoelectric ceramics (PZT) have good linear characteristics, can achieve nanometer resolution, fast response and high precision in the process of micro-displacement, and are widely used in optical measurement. In interferometry, the movement of reflector is controlled by PZT. By introducing controllable phase shift, we need to know the voltage phase shift characteristics of PZT. A method of measuring the voltage phase shift characteristics of PZT based on the correlation of interference fringe pattern is proposed. The interference fringe pattern is collected by CMOS digital camera. Taking the pattern corresponding to zero voltage as the reference diagram, the normalized correlation coefficient is calculated. Finally, the phase shift characteristic curve of PZT voltage is obtained, which satisfies the requirement of controllable phase shift in interferometric measurement.
【作者單位】： 電子科技大學光電信息學院;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(61308062)
【分類號】：TH744.3

【參考文獻】

相關期刊論文 前5條

1 孫寶光;譚仁兵;張啟義;;邁克爾遜干涉儀對壓電陶瓷動態(tài)特性的研究[J];壓電與聲光;2015年05期

2 鄭春艷;楊若夫;徐林;孔令講;敖明武;楊平;黃子強;吳健;;液晶閃耀光柵波前相位測量方法[J];中國激光;2011年10期

3 李卓;邱慧娟;;基于相關系數(shù)的快速圖像匹配研究[J];北京理工大學學報;2007年11期

4 曹炬,馬杰,譚毅華,田金文;基于像素抽樣的快速互相關圖像匹配算法[J];宇航學報;2004年02期

5 郭廣平,計欣華,秦玉文,杜家吉,王自明;用于位移精密測量的光外差馬赫-澤德干涉儀[J];光學技術;1997年06期

相關博士學位論文 前1條

1 鄭春艷;液晶光柵相控陣波前檢測及性能分析[D];電子科技大學;2012年

相關碩士學位論文 前1條

1 馬琳;基于相位調(diào)制的激光干涉位移測量系統(tǒng)關鍵技術研究[D];合肥工業(yè)大學;2014年

【共引文獻】

相關期刊論文 前10條

1 趙英明;楊若夫;楊春平;馬小莉;程馬兵;;基于干涉條紋相關性測量PZT相移特性的方法[J];壓電與聲光;2016年03期

2 廖劍;史賢俊;康宇航;馬長李;馬瑞萍;;一種ASA曲線的處理方法及其在電路板狀態(tài)監(jiān)測和故障診斷中的應用[J];航天控制;2016年02期

3 夏清沛;熊芝;陳海林;詹君;;兩種圖像匹配模型的應用實例分析[J];科技通報;2015年11期

4 曾祥進;田峰;王子維;章劉斌;;芯片引線鍵合的快速圖像定位研究[J];華中科技大學學報(自然科學版);2015年S1期

5 李振林;鮑立尚;;地物信息變化檢測方法對比[J];礦山測量;2015年05期

6 曾祥進;田峰;袁澤;鐘旭銳;;IC芯片引線框架亞像素邊緣提取研究[J];軟件導刊;2015年09期

7 張煥龍;鄭衛(wèi)東;舒云星;;基于增量式互信息的圖像快速匹配方法[J];彈箭與制導學報;2015年01期

8 伯恩;段發(fā)階;馮帆;呂昌榮;傅驍;;一種新的正弦相位調(diào)制干涉條紋相位穩(wěn)定方法[J];光電工程;2014年08期

9 王興;苗春生;王秀君;樊仲欣;;基于OpenCL的雷達外推算法改進與優(yōu)化[J];計算機與現(xiàn)代化;2014年08期

10 崔丹丹;張耀南;趙國輝;;基于MPI和OpenCV遙感圖像匹配的并行實現(xiàn)[J];計算機應用;2014年S1期

相關碩士學位論文 前1條

1 白靜;基于TV正則化約束模型的三維斷層相位顯微鏡圖像重建[D];浙江大學;2015年

【二級參考文獻】

相關期刊論文 前10條

1 曲紹鵬;李東明;;壓電雙晶片諧響應有限元模擬分析[J];大連交通大學學報;2012年04期

2 王東;孫文斌;;光干涉法測量壓電陶瓷壓電特性[J];壓電與聲光;2011年06期

3 孔令講;朱穎;楊建宇;張翠玉;;一種新的液晶相控陣組件波控方法[J];光學學報;2009年07期

4 王濤;王曉東;王立鼎;;壓電陶瓷快速響應特性與應用研究[J];傳感技術學報;2009年06期

5 陳云鵬;胡易;陳黎暄;范雪蘭;趙紅娥;成正維;;基于動態(tài)全息光柵轉(zhuǎn)換技術的壓電陶瓷特性測量[J];物理實驗;2009年04期

6 張翠玉;黃子強;;二元光學液晶閃耀光柵的特性分析[J];光學學報;2008年07期

7 李書民;唐軍;;應用邁克耳孫干涉儀研究壓電陶瓷的特性[J];物理實驗;2008年06期

8 門秀花;李舜酩;;壓電陶瓷傳感器穩(wěn)定性的仿真分析[J];傳感器與微系統(tǒng);2007年10期

9 王俐;盧亞雄;黃子強;鄒杰宇;蔡寧;;電場邊緣效應對液晶光柵特性的影響[J];液晶與顯示;2007年01期

10 王軍;張明柱;;圖像匹配算法的研究進展[J];大氣與環(huán)境光學學報;2007年01期

相關博士學位論文 前2條

1 蔣志凌;哈特曼波前傳感器特性和應用研究[D];中國科學院研究生院（武漢物理與數(shù)學研究所）;2005年

2 李大海;激光光束波前畸變的徑向剪切干涉診斷及其控制新方法研究[D];四川大學;2002年

相關碩士學位論文 前1條

1 孫偉程;低噪聲放大器的設計及其穩(wěn)定性的研究[D];西安電子科技大學;2012年

【相似文獻】

相關期刊論文 前10條

1 趙宇光;制備靈敏PZT纖維的新工藝[J];中國建材科技;1996年03期

2 王忠華;李振豪;普朝光;楊培志;林猷慎;;用于非制冷熱釋電紅外探測器的PZT鐵電薄膜研究[J];無機材料學報;2006年05期

3 何曉勇,盧紅霞,張銳,許宏亮,李元昕;MgO,Y_2O_3,MnO_2摻雜PZT超聲壓電陶瓷性能研究[J];鄭州大學學報(工學版);2002年02期

4 魯健,褚家如;高取向PZT鐵電薄膜的溶膠-凝膠法制備[J];中國科學技術大學學報;2002年06期

5 熊見芳,葉小紅,張琪;PZT系陶瓷材料作熱釋電激光能量探測器的研究[J];重慶大學學報(自然科學版);1986年04期

6 王立平;盧琳;謝靜菁;王聰;姜勝林;;PZT疊層厚膜陶瓷材料性能的研究[J];壓電與聲光;2009年02期

7 胡自強;凌寧;潘君驊;饒長輝;姜文漢;;基于PZT的非球面能動拋光盤的變形優(yōu)化[J];光學精密工程;2009年01期

8 閻石;吳杰;;基于PZT片的智能骨料受力性能試驗研究[J];混凝土;2012年06期

9 蘇兆文;高g常數(shù)的梯狀結(jié)構(gòu)PZT壓電陶瓷——國外新型壓電材料簡介[J];壓電與聲光;1981年06期

10 陸翠敏;孫清池;徐明霞;王俐聰;;鐠摻雜PZT二元系壓電陶瓷性能研究[J];稀有金屬材料與工程;2006年01期

相關會議論文 前10條

1 吳新民;陳進榜;朱日宏;程麗君;王青;;壓電陶瓷(PZT)的動態(tài)頻率響應的干涉法測量方法[A];第九屆全國光學測試學術討論會論文（摘要集）[C];2001年

2 王燦;石云;方前鋒;朱震剛;;PZT鐵電陶瓷的低頻內(nèi)耗研究[A];全國第六屆固體內(nèi)耗與超聲衰減學術會議論文集[C];2001年

3 李國榮;陳大任;沈衛(wèi);張望重;張申;殷慶瑞;;多層片式PZT系壓電陶瓷微位移器位移特性研究[A];第三屆中國功能材料及其應用學術會議論文集[C];1998年

4 宋世庚;符小榮;張錦文;龔健;陶明德;;Sol-Gel法制備PZT鐵電薄膜的研究[A];材料科學與工程技術——中國科協(xié)第三屆青年學術年會論文集[C];1998年

5 晏伯武;;PZT壓電陶瓷凝膠注模成型的研究[A];第三屆全國信息獲取與處理學術會議論文集[C];2005年

6 余t，

本文編號：1628656