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大口徑平面快速拋光機床誤差模型研究

發(fā)布時間:2018-03-03 18:05

  本文選題:光學元件 切入點:拋光 出處:《制造技術與機床》2015年08期  論文類型:期刊論文


【摘要】:介紹了大口徑平面光學元件快速拋光機床的加工原理,分析了全口徑拋光工藝中拋光模與工件之間的精度傳遞關系,并推導了修整器幾何參數對拋光模修整精度及元件加工面形精度的影響規(guī)律。對大口徑平面快速拋光機床的各項幾何誤差源進行了分析,并基于多體系統理論,建立了機床修整軸綜合空間姿態(tài)誤差的理論計算模型,詳細闡述了機床誤差建模過程。
[Abstract]:This paper introduces the machining principle of the fast polishing machine tool for large aperture plane optical element, and analyzes the accuracy transfer relation between the polishing die and the workpiece in the whole aperture polishing process. The effects of geometric parameters of the dresser on the dressing accuracy of polishing die and the machining surface accuracy of components are deduced. The geometric error sources of the large aperture plane rapid polishing machine are analyzed and based on the theory of multi-body system. The theoretical calculation model of synthetic spatial attitude error of machine tool dressing axis is established, and the modeling process of machine tool error is described in detail.
【作者單位】: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心;
【基金】:國家科技重大專項資助項目(2013ZX04006011-101)
【分類號】:TG58;TH74

【參考文獻】

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【共引文獻】

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本文編號:1562106

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