本文選題：光學(xué)元件　切入點(diǎn)：拋光　出處：《制造技術(shù)與機(jī)床》2015年08期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：介紹了大口徑平面光學(xué)元件快速拋光機(jī)床的加工原理,分析了全口徑拋光工藝中拋光模與工件之間的精度傳遞關(guān)系,并推導(dǎo)了修整器幾何參數(shù)對(duì)拋光模修整精度及元件加工面形精度的影響規(guī)律。對(duì)大口徑平面快速拋光機(jī)床的各項(xiàng)幾何誤差源進(jìn)行了分析,并基于多體系統(tǒng)理論,建立了機(jī)床修整軸綜合空間姿態(tài)誤差的理論計(jì)算模型,詳細(xì)闡述了機(jī)床誤差建模過程。
[Abstract]:This paper introduces the machining principle of the fast polishing machine tool for large aperture plane optical element, and analyzes the accuracy transfer relation between the polishing die and the workpiece in the whole aperture polishing process. The effects of geometric parameters of the dresser on the dressing accuracy of polishing die and the machining surface accuracy of components are deduced. The geometric error sources of the large aperture plane rapid polishing machine are analyzed and based on the theory of multi-body system. The theoretical calculation model of synthetic spatial attitude error of machine tool dressing axis is established, and the modeling process of machine tool error is described in detail.
【作者單位】： 中國工程物理研究院激光聚變研究中心;
【基金】：國家科技重大專項(xiàng)資助項(xiàng)目(2013ZX04006011-101)
【分類號(hào)】：TG58;TH74

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前8條

1 趙萍;陶黎;王志偉;袁巨龍;;平面研磨拋光軌跡研究[J];航空精密制造技術(shù);2009年02期

2 常敏,袁巨龍,呂冰海,趙文宏,潘峰;納米級(jí)超精密平面拋光機(jī)工件微量去除的控制方法[J];機(jī)械工程師;2003年09期

3 黃強(qiáng);張根保;張新玉;;機(jī)床位姿誤差的敏感性分析[J];機(jī)械工程學(xué)報(bào);2009年06期

4 韓飛飛;趙繼;張雷;趙幗娟;冀世軍;;數(shù)控機(jī)床幾何精度綜合解析與試驗(yàn)研究[J];機(jī)械工程學(xué)報(bào);2012年21期

5 謝瑞清;李亞國;陳賢華;黃浩;王健;許喬;;基于壓力補(bǔ)償原理的拋光面形快速收斂技術(shù)[J];強(qiáng)激光與粒子束;2011年02期

6 許喬;王健;馬平;陳賢華;雷向陽;;先進(jìn)光學(xué)制造技術(shù)進(jìn)展[J];強(qiáng)激光與粒子束;2013年12期

7 張紅霞,殷伯華,吳明根,高宏剛;超光滑高精度微晶玻璃的平面拋光工藝[J];制造技術(shù)與機(jī)床;1999年12期

8 張峰;;納米級(jí)面形精度光學(xué)平面鏡加工[J];中國光學(xué);2014年04期

【共引文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 張根保;曾海峰;王國強(qiáng);張家為;;復(fù)雜機(jī)電產(chǎn)品質(zhì)量特性解耦模型[J];重慶大學(xué)學(xué)報(bào);2010年05期

2 周祖兵;隋旭東;丘兆才;;微晶玻璃板材拋光工藝探討[J];佛山陶瓷;2011年02期

3 謝影;付秀華;賈宗合;馬放;唐昊龍;田野;;高次非球面微晶玻璃元件的拋光工藝研究[J];長春理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2012年04期

4 李平;唐華平;呂斌;譚永青;;汽輪機(jī)現(xiàn)場(chǎng)修復(fù)移動(dòng)數(shù)控銑床幾何誤差建模[J];廣西大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2013年02期

5 張楊;李秀龍;徐清蘭;張蓉竹;;雙軸式研磨拋光中拋光盤相對(duì)位置對(duì)去除量的影響研究[J];光學(xué)技術(shù);2013年05期

6 陳富夫;劉建新;;MCGS和PLC在拋光機(jī)器人上的應(yīng)用[J];成都紡織高等�？茖W(xué)校學(xué)報(bào);2015年02期

7 張恩忠;趙繼;冀世軍;林潔瓊;李剛;;光學(xué)自由曲面研拋機(jī)床的綜合誤差建模與補(bǔ)償[J];光學(xué)精密工程;2015年06期

8 夏承亮;李成貴;熊昌友;;基于三種不同材料的超光滑表面性能測(cè)量結(jié)果的對(duì)比研究[J];計(jì)量與測(cè)試技術(shù);2009年10期

9 胡曉珍;李偉;王志偉;;行星式雙面拋光均勻性研究[J];機(jī)械工程師;2008年03期

10 項(xiàng)林輝;馮毅雄;譚建榮;;基于有限元分析的夾具針桿精度控制[J];機(jī)械工程師;2010年02期

相關(guān)博士學(xué)位論文 前5條

1 崔天剛;WolterⅠ型反射鏡面形檢測(cè)及成像性能檢測(cè)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

2 范鏑;大口徑碳化硅質(zhì)反射鏡數(shù)控光學(xué)加工的研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2004年

3 王旭;固著磨料數(shù)控加工碳化硅反射鏡工藝研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2010年

4 耿聰;數(shù)控系統(tǒng)五軸聯(lián)動(dòng)軌跡平滑技術(shù)研究與應(yīng)用[D];中國科學(xué)院研究生院（沈陽計(jì)算技術(shù)研究所）;2014年

5 李冬英;數(shù)控機(jī)床裝配質(zhì)量建模與診斷技術(shù)研究[D];重慶大學(xué);2014年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 刁常X;基于旋量的SCARA工業(yè)機(jī)器人精度研究[D];浙江大學(xué);2011年

2 吳戰(zhàn)成;集群磁流變效應(yīng)超光滑拋光加工過程研究[D];廣東工業(yè)大學(xué);2011年

3 吳建林;單晶藍(lán)寶石水合拋光機(jī)理與試驗(yàn)研究[D];浙江工業(yè)大學(xué);2010年

4 姜?jiǎng)P麗;鋁酸鋰晶體拋光處理及其退火行為研究[D];哈爾濱理工大學(xué);2011年

5 劉傳劍;軸承強(qiáng)化研磨加工有限元仿真分析及設(shè)備研制[D];廣州大學(xué);2011年

6 曹沖;大口徑光學(xué)元件超精密環(huán)拋技術(shù)研究[D];四川大學(xué);2004年

7 吳明明;單晶硅片的超精密加工技術(shù)研究[D];浙江工業(yè)大學(xué);2005年

8 項(xiàng)林輝;復(fù)雜寶石加工專用裝備精度控制技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2010年

9 趙文龍;同軸型光電子器件激光焊接系統(tǒng)的誤差分析與焊接工藝研究[D];中南大學(xué);2012年

10 李文雄;軸承強(qiáng)化研磨加工工藝參數(shù)優(yōu)化的研究[D];廣州大學(xué);2012年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 靳永吉;CMP拋光運(yùn)動(dòng)機(jī)理研究[J];電子工業(yè)專用設(shè)備;2005年09期

2 粟時(shí)平,李圣怡,王貴林;多軸數(shù)控機(jī)床的通用運(yùn)動(dòng)學(xué)綜合空間誤差模型[J];國防科技大學(xué)學(xué)報(bào);2001年04期

3 朱建忠,李圣怡,黃凱;超精密機(jī)床變分法精度分析及其應(yīng)用[J];國防科技大學(xué)學(xué)報(bào);1997年02期

4 鄧偉杰;鄭立功;史亞莉;王孝坤;張學(xué)軍;;基于線性代數(shù)和正則化方法的駐留時(shí)間算法[J];光學(xué)精密工程;2007年07期

5 武建芬;盧振武;張紅鑫;王泰升;;光學(xué)非球面離子束加工模型及誤差控制[J];光學(xué)精密工程;2009年11期

6 宣斌;謝京江;宋淑梅;;多模式組合拋光技術(shù)在光學(xué)加工中的應(yīng)用[J];光學(xué)精密工程;2011年01期

7 張紅霞,高宏剛,吳明根;定偏心錫磨盤超精密平面拋光均勻去除模擬計(jì)算(Ⅰ)[J];光學(xué)精密工程;1998年02期

8 王權(quán)陡,劉民才,張洪霞;數(shù)控拋光技術(shù)中拋光盤的去除函數(shù)[J];光學(xué)技術(shù);2000年01期

9 劉民才,申艷輝,胡曉陽,鄢定堯,敬守勇;平面元件數(shù)控加工技術(shù)研究[J];光學(xué)技術(shù);2000年01期

10 劉民才,胡曉陽,李壯聲;大口徑高精度方形平面光學(xué)元部件的研制[J];光學(xué)技術(shù);2001年06期

相關(guān)博士學(xué)位論文 前1條

1 楊建國;數(shù)控機(jī)床誤差綜合補(bǔ)償技術(shù)及應(yīng)用[D];上海交通大學(xué);1998年

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前9條

1 陶曉杰,王治森;機(jī)床誤差的補(bǔ)償方法探討[J];制造業(yè)自動(dòng)化;2005年05期

2 袁磊;李圣怡;彭小強(qiáng);胡皓;;磁流變機(jī)床誤差分析和加工工藝優(yōu)化[J];航空精密制造技術(shù);2011年03期

3 Joseph Ogando;;消除機(jī)床誤差[J];工業(yè)設(shè)計(jì);2009年03期

4 韓峰;魯敏;;淺析機(jī)床誤差的測(cè)量與補(bǔ)償[J];科技傳播;2009年08期

5 宋利寶;;機(jī)床誤差對(duì)加工精度的影響及改善措施[J];裝備制造技術(shù);2011年10期

6 沈云波,劉建亭,李濟(jì)順;機(jī)床誤差的正交光柵檢測(cè)及分離[J];河南科技大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2003年03期

7 陳寶月;劉煥牢;李小力;劉璨;譚光宇;;數(shù)控機(jī)床單軸受力誤差測(cè)量系統(tǒng)[J];制造技術(shù)與機(jī)床;2013年05期

8 張江華;;數(shù)控機(jī)床誤差求解方法的研究[J];煤礦機(jī)械;2006年10期

9 ;[J];;年期

相關(guān)博士學(xué)位論文 前1條

1 張宏韜;雙轉(zhuǎn)臺(tái)五軸數(shù)控機(jī)床誤差的動(dòng)態(tài)實(shí)時(shí)補(bǔ)償研究[D];上海交通大學(xué);2011年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前1條

1 李青鋒;機(jī)床誤差單元特性的預(yù)測(cè)方法及工具研究[D];重慶理工大學(xué);2012年

，

本文編號(hào)：1562106